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薄膜生产解决方案

- 先进封装

- 半导体

- 光电

- 光学

Evatec – 定义未来

Evatec 薄膜科技,广泛应用于我们的办公室,家庭,汽车和智能设备。相关产品或许肉眼不可见,但在我们的机台上制作的薄膜随处可寻。自1946年Balzers AG公司成立以来,Evatec 技术已经塑造世界70余年,现在Evatec 的专业技术正将引领我们的生活和工作方式发生变革。物联网 (IoT)为全球70亿人口提供连接7万亿台设备的潜力,Evatec 薄膜科技将是其核心。我们使这些设备能够触摸全球数百万人的生活,提供如5G移动通信,使其运行得更快,电子消费设备更节电以保护世界资源。

从汽车HB LED照明到手机人脸识别技术,我们的日常业务就是设计和建立最好的薄膜生产解决方案,Evatec 的专业技术使我们的客户在泛半导体,光电和光学等应用领域中处于领先地位。我们的新材料镀膜技术在先进工艺控制和创新系统工程上把薄膜性能提升至新台阶,并使其拥有最低的运营成本。

明天的智能技术,如人工智能(AI),感应,学习和响应所处环境,将使数百万人首次获得远程医疗服务,并使自动驾驶更加安全。所有这些都需要在传感,计算和数据处理方面取得飞跃,更快更高效,并且更小更轻得集成在电子封装中,Evatec 已经准备好了,一支拥有400多项专利的高水平科学家和工程师所组成的团队,时刻支持我们在全球的客户,为其未来生产提供解决方案。

 

Evatec - 关心我们的员工,客户,投资者和世界

我们的目标是给行业内客户提供最大价值。为此我们有最好的员工和投资者的大力支持。结构化,高效的工艺过程,帮助我们交付出高质量的产品。我们很自豪地获得ISO9001和ISO14001认证。

想了解更多关于我们的愿景,使命和环境政策信息,请点击这里。阅读企业社会责任信息,请点击这里

查看我们的ISO认证证书,您可以点击以下链接ISO9001英语ISO9001德语ISO14001英语,ISO14001德语

了解更多?

想要了解更多关于Evatec 机台,工艺技术和市场信息,请访问网站页面,或阅读LAYERS杂志内的研究案例。

 

 

我们能提供的支持

从研发到量产,我们为全球客户提供制造解决方案。基于我们70年的工艺技术,我们为客户提供从现在到未来的薄膜工艺,并应用先进工艺控制技术 (APC),使其运营成本降至最低。

请联系您当地的销售和服务团队,或点击照片链接了解更多。

 

BAK系列

用于研发或量产的0.5米至2.0米的蒸发台系列

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CLUSTERLINE® 系列

全自动集群式机台系列,单基板加工可达650 mm

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HEXAGON

晶圆级先进封装应用专用(如FOWLP 设备)

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LLS EVO

立式量产溅射平台,在半导体行业有着久经考验的业绩记录

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MSP

立式高产量量产溅射机台,为高精度光学镀膜提供解决方案

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SOLARIS® 系列

全自动高产能高速连续式溅射平台系列

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科技让你领先

我们利用在刻蚀,蒸镀,溅射和PECVD科技方面的核心技术能力,为先进封装,半导体,光电和光学镀膜领域提供全方位薄膜工艺解决方案(机台和工艺)。

  • Evatec 从最初的Balzers Bak电子束蒸发台开始,在蒸镀源和工艺技术方面积累了50多年的经验。我们着重于通过最大限度地提高产量和尽量减少使用蒸镀材料,以最低的生产成本实现精密度。
  • 溅射技术中,我们提供了一整套阴极科技组合以满足不同应用需求。延长靶材使用寿命与利用率,加上高转换率,确保我们溅射工艺的最佳运营成本。
  • 我们的等离子源结合感应式耦合等离子(ICP)和电容耦合等离子(CCP)等技术应用于蒸镀和溅射工艺中,有效帮助敏感涂层的修正以及高速率刻蚀。
  • Evatec 的PLASMABOX®安装在CLUSTERLINE® 200单基板处理机台上使其在低温和低污染环境下镀出高质量PECVD涂层

 

 

我们先进工艺控制(APC)技术提高产量,提升良率,降低成本。从使用电浆光谱分析 (PEM)监控薄膜的化合状态,到使用晶振或光学监控精确控制膜厚,原位监控技术应用于每一台Evatec 的生产机台上,用以输出高性能,可重复的工艺。

Evatec 尖端实验室(ECL

在ECL尖端实验室,和我们一起改进和开发机台的未来技术工艺。无尘室内水平低至ISO4,配备30多台镀膜机台和20多种测量设备。 点击这里阅读更多关于2019年建立的实验室信息。

想了解更多?

想要了解Evatec 镀膜,刻蚀和工艺控制技术,请访问网站页面,或阅读LAYERS杂志内的研究案例。

 

跨互补市场的专业技术

我司与先进封装,半导体(Power DevicesMEMS & Wireless),光电光学等领域的核心市场内的客户相交甚久。我们的科学家和工程师在过去70年里获得了制造薄膜技术的生产经验和专业工艺技术。

在一个瞬息万变的世界里,“半导体”正在趋同,以满足“光学”的需要。我们可以更充分地利用这些知识,将一个市场的经验传导并促进另一个市场的发展。Evatec 最初为传统光学薄膜应用开发的光学监测控制能力现在正在帮助我们光电和半导体应用中的客户为其下一代器件实现新的精密度水平。另一方面,为半导体行业生产平台开发的全自动晶圆片处理方法现在正在支持我们的客户开发新兴的晶圆级光学应用。用于高良率和无颗粒工艺的光学镀膜。

 

我们的市场持续成长

我们所有的市场对物联网的成功发展至关重要。Evatec 的专业技术将帮助我们全领域客户行驶在他们技术道路上的“快车道”。

想了解更多?

您可以在网站页面上或在LAYERS杂志中阅读更多关于Evatec 机台和工艺技术的信息。点击这里与我们联系,索取LAYERS杂志的纸质版本。

 

Evatec – 定义未来

Evatec 薄膜科技,广泛应用于我们的办公室,家庭,汽车和智能设备。相关产品或许肉眼不可见,但在我们的机台上制作的薄膜随处可寻。自1946年Balzers AG公司成立以来,Evatec 技术已经塑造世界70余年,现在Evatec 的专业技术正将引领我们的生活和工作方式发生变革。物联网 (IoT)为全球70亿人口提供连接7万亿台设备的潜力,Evatec 薄膜科技将是其核心。我们使这些设备能够触摸全球数百万人的生活,提供如5G移动通信,使其运行得更快,电子消费设备更节电以保护世界资源。

从汽车HB LED照明到手机人脸识别技术,我们的日常业务就是设计和建立最好的薄膜生产解决方案,Evatec 的专业技术使我们的客户在泛半导体,光电和光学等应用领域中处于领先地位。我们的新材料镀膜技术在先进工艺控制和创新系统工程上把薄膜性能提升至新台阶,并使其拥有最低的运营成本。

明天的智能技术,如人工智能(AI),感应,学习和响应所处环境,将使数百万人首次获得远程医疗服务,并使自动驾驶更加安全。所有这些都需要在传感,计算和数据处理方面取得飞跃,更快更高效,并且更小更轻得集成在电子封装中,Evatec 已经准备好了,一支拥有400多项专利的高水平科学家和工程师所组成的团队,时刻支持我们在全球的客户,为其未来生产提供解决方案。

 

Evatec - 关心我们的员工,客户,投资者和世界

我们的目标是给行业内客户提供最大价值。为此我们有最好的员工和投资者的大力支持。结构化,高效的工艺过程,帮助我们交付出高质量的产品。我们很自豪地获得ISO9001和ISO14001认证。

想了解更多关于我们的愿景,使命和环境政策信息,请点击这里。阅读企业社会责任信息,请点击这里

查看我们的ISO认证证书,您可以点击以下链接ISO9001英语ISO9001德语ISO14001英语,ISO14001德语

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想要了解更多关于Evatec 机台,工艺技术和市场信息,请访问网站页面,或阅读LAYERS杂志内的研究案例。

 

 

我们能提供的支持

从研发到量产,我们为全球客户提供制造解决方案。基于我们70年的工艺技术,我们为客户提供从现在到未来的薄膜工艺,并应用先进工艺控制技术 (APC),使其运营成本降至最低。

请联系您当地的销售和服务团队,或点击照片链接了解更多。

 

科技让你领先

我们利用在刻蚀,蒸镀,溅射和PECVD科技方面的核心技术能力,为先进封装,半导体,光电和光学镀膜领域提供全方位薄膜工艺解决方案(机台和工艺)。

  • Evatec 从最初的Balzers Bak电子束蒸发台开始,在蒸镀源和工艺技术方面积累了50多年的经验。我们着重于通过最大限度地提高产量和尽量减少使用蒸镀材料,以最低的生产成本实现精密度。
  • 溅射技术中,我们提供了一整套阴极科技组合以满足不同应用需求。延长靶材使用寿命与利用率,加上高转换率,确保我们溅射工艺的最佳运营成本。
  • 我们的等离子源结合感应式耦合等离子(ICP)和电容耦合等离子(CCP)等技术应用于蒸镀和溅射工艺中,有效帮助敏感涂层的修正以及高速率刻蚀。
  • Evatec 的PLASMABOX®安装在CLUSTERLINE® 200单基板处理机台上使其在低温和低污染环境下镀出高质量PECVD涂层

 

 

我们先进工艺控制(APC)技术提高产量,提升良率,降低成本。从使用电浆光谱分析 (PEM)监控薄膜的化合状态,到使用晶振或光学监控精确控制膜厚,原位监控技术应用于每一台Evatec 的生产机台上,用以输出高性能,可重复的工艺。

Evatec 尖端实验室(ECL

在ECL尖端实验室,和我们一起改进和开发机台的未来技术工艺。无尘室内水平低至ISO4,配备30多台镀膜机台和20多种测量设备。 点击这里阅读更多关于2019年建立的实验室信息。

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想要了解Evatec 镀膜,刻蚀和工艺控制技术,请访问网站页面,或阅读LAYERS杂志内的研究案例。

 

跨互补市场的专业技术

我司与先进封装,半导体(Power DevicesMEMS & Wireless),光电光学等领域的核心市场内的客户相交甚久。我们的科学家和工程师在过去70年里获得了制造薄膜技术的生产经验和专业工艺技术。

在一个瞬息万变的世界里,“半导体”正在趋同,以满足“光学”的需要。我们可以更充分地利用这些知识,将一个市场的经验传导并促进另一个市场的发展。Evatec 最初为传统光学薄膜应用开发的光学监测控制能力现在正在帮助我们光电和半导体应用中的客户为其下一代器件实现新的精密度水平。另一方面,为半导体行业生产平台开发的全自动晶圆片处理方法现在正在支持我们的客户开发新兴的晶圆级光学应用。用于高良率和无颗粒工艺的光学镀膜。

 

我们的市场持续成长

我们所有的市场对物联网的成功发展至关重要。Evatec 的专业技术将帮助我们全领域客户行驶在他们技术道路上的“快车道”。

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您可以在网站页面上或在LAYERS杂志中阅读更多关于Evatec 机台和工艺技术的信息。点击这里与我们联系,索取LAYERS杂志的纸质版本。

 

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