LLS EVO II
立式溅射机台，用于溅射金属，介质层和磁性薄膜
紧凑灵活的立式批次溅射设备，可沉积金属/介质/软磁薄膜，最大基板230mm。
灵活设计
- 最多5个溅射源，支持共沉积
- 不同基板尺寸间快速切换
Evatec深厚工艺积淀
- 除气/刻蚀/沉积
- 从金属/介质到TCO/软磁
经过生产验证
- 全球超过300台设备
- 定制化解决方案，包括前端自动化
LLS EVO II
LLS EVO II是一款多功能批量溅射设备，基于立式动态设计理念，装载腔与工艺腔分离(LC, PC)。设备最多可配置5个溅射阴极和1个刻蚀源，可处理最大300mm晶圆。全球装机量超300台，验证了其作为可靠稳健量产平台的实力。紧凑的设计与较低的投资成本，使其成为与Evatec产品组合中大型单基板处理设备互补的小批量量产理想之选。
设备可配置多种电源，实现高工艺灵活性。装载腔内的基板除气与刻蚀功能确保工艺腔内的高纯度工艺；5分钟内即可切换不同基板尺寸，使LLS成为市场上满足中等批量、混线量产需求的最灵活量产设备之一。
从高沉积速率金属与共溅射合金叠层，到采用集成原位磁场对准技术的世界领先层叠软磁多层膜——各类应用均可受益于Evatec在LLS上的沉积工艺积淀，获得覆盖MEMS与光电子等半导体市场的完整量产方案。
主要系统组件 —— 快速指南
点击圆形图中的各分区快速了解，页面下方可查看更多详情。
基础平台
立式装载腔配置，主腔内最多5个靶位动态溅射
- 标配正面手动装载
- 装载腔内集成附加除气/加热/刻蚀功能
- 可选集成机械手装载
集成冷泵/分子泵/前级泵，确保稳定高真空与快速恢复时间。
刻蚀
可选射频或离子束刻蚀功能，集成于装载腔内
溅射
最多配置5个立式阴极，支持DC/RF/DC+RF混合/脉冲DC模式。
- 最多3个源并行运行（共溅射），实现更高沉积速率，并可混合或连续过渡不同材料。
加热
配置加热功能，可在装载腔或工艺腔内实现有效的基板温度管理
基板转笼
LLS EVO II的旋转笼式载具设计，为您提供极致的灵活性
- 手动装载，支持2/3/4/5/6/8英寸基板的完整或混装批量
- 仅需数分钟即可切换基板尺寸配置
- 批量处理基板，最大尺寸200×230mm
辅助设备
集成式介质供应与机架设计，将LLS占地面积降至最低；系统设计与转笼升降装置等附件集成，便于维护。
自动化
自动化
可选集成六轴机械手方案，配晶圆盒暂存位/平边缺口对准器/条码读取器
基础平台
立式装载腔配置。主腔内最多5个靶位动态溅射，装载腔内可集成附加可选除气/加热/刻蚀功能。装载腔或主腔可选集成Meissner冷阱，配合前级泵及主腔分子泵或冷泵选项，确保稳定可重复的高真空条件与快速恢复时间。
标配正面手动装载，可选集成机械手装载以提升自动化。
刻蚀
可选射频或离子束刻蚀功能，集成于装载腔内
溅射
无论选择全面沉积、遮蔽掩模还是定制边缘排除，LLS装载与旋转笼式载具设计均可配置为手动装载或全自动盒到盒处理。最多配置5个立式阴极，支持DC/RF/DC+RF混合/脉冲DC模式。最多3个源并行运行（共溅射），实现更高沉积速率，并可混合或连续过渡不同材料。
以下源配置方案欢迎咨询：
- 新型椭圆阴极技术，降低材料成本且颗粒数更低
- "高能阴极"技术，提升高沉积速率金属化工艺（铝及铝合金）的产能
- 高性能磁体系统，延长磁性及非磁性材料溅射的使用寿命
加热
配置加热功能，可在装载腔或工艺腔内实现有效的基板温度管理
基板笼
LLS EVO II的旋转笼式载具设计，为您提供极致的灵活性。
- 手动装载，支持2/3/4/5/6/8英寸基板的完整或混装批量
- 仅需数分钟即可切换基板尺寸配置
- 批量处理基板，最大尺寸200×230mm
不同转笼规格还可与机械手组合，用于晶圆"正面"与"背面"工艺，并集成冷却等附加功能。我们的工程师随时为您提供定制方案支持。
辅助设备
系统设计集成厂务供应与机架设计，转笼升降装置等集成附件将LLS占地面积降至最低并便于日常维护。此外，Evatec还提供支持日常生产的其他功能，包括：
- 晶圆ID与条码读取器
- 残余气体分析仪
自动化
可选集成六轴机械手方案，配晶圆盒暂存位/平边缺口对准器/条码读取器
- 针对"正面"或"背面"晶圆工艺的专用方案
工艺积淀
受益于Evatec在LLS EVO II及前代产品上积累的长期工艺经验，覆盖半导体与光电子行业各类标准材料，包括：
- 磁场对准软磁薄膜制备
- 低损伤薄膜成核工艺
- 反应溅射工艺
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- 了解可降低材料成本与颗粒数的椭圆靶技术，或选择Evatec磁场对准技术方案，用于磁场对准磁性薄膜沉积。
- 了解我们的高能阴极技术与定制磁体系统，实现更高沉积速率。
- 了解控制系统及其他部件现代化改造方案，更换淘汰部件、提升正常运行时间并延长设备寿命。
- 我们的工程团队随时为您提供工装设计与制造等定制工程服务。
如需阅读更多LLS EVO II相关内容，请参阅LAYERS杂志
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