SOLARIS® 溅射机台结合了过去5,000多台高速生产光碟的机台和半导体行业3,000多台PVD机台的技术和经验，将大规模薄膜生产带入了一个新领域。得益于之前机台的流水线型架构，SOLARIS® 专为全自动生产而设计，增加产量，消除了生产过程中的人工操作。应用领域从触摸屏面板到电磁屏蔽，热电发生器，从功率器件到光伏太阳能。适用于不同形状尺寸的刚性或柔性基板，S151和S380机台为高速生产提供灵活的解决方案。