SOLARIS® 系列
连续式生产平台
在包括消费电子在内的超大批量应用中引领潮流
全自动化工厂
- 独特的"同步器"系统，实现高速传输
- 可根据基板与应用灵活配置伞架系统
多种平台尺寸可选
- S151 – 适用于对角线尺寸达8英寸的基板
- S380 – 适用于对角线尺寸达15英寸的基板
在高速领域独占鳌头
- 经验证的Evatec搬运工艺积淀
- 经验证的工艺积淀——金属、介质与TCO
SOLARIS® 系列
SOLARIS®溅射平台融合了交付5,000余套高速光盘系统的工艺积淀，及3,000余套半导体PVD设备积累的丰富经验，为薄膜量产带来全新方案。凭借"在线式"架构，SOLARIS®平台专为"全自动化工厂"设计，提升产能、消除人工操作。
当高速加工与产能成为必备要求时，SOLARIS®平台是沉积介质、金属、金属氧化物与TCO的理想选择。从智能设备的多层装饰镀膜与硬质镀膜，到功率器件的金属化工艺，SOLARIS®平台为光子学、光电子及半导体领域提供灵活的高速制造方案。
依托Evatec工程技术积淀，SOLARIS®平台还可配备专利阴极与基板搬运技术，实现3D及台阶结构表
有两种平台尺寸可供选择：
- S151 – 适用于对角线尺寸达8英寸的基板
- S380 – 适用于对角线尺寸达15英寸的基板
SOLARIS® S151
选择 SOLARIS® S151 的理由：
- 独特的"同步器"技术，可在SOLARIS®系统内实现并行载具传输，满足高速加工需求
- 最多可配置6个工艺工位，支持RTP（快速热处理）、PVD（物理气相沉积）、刻蚀或CVD（化学气相沉积）
- 可处理对角线尺寸达8英寸的基板，或使用载具进行“小批量处理”
- 可处理刚性或柔性基板
- 可集成至“全自动化工厂”的前端
选择 SOLARIS® S380 的理由：
Choose SOLARIS® S380 for :
- 独特的"同步器"技术，可在SOLARIS®系统内实现并行载具传输，满足高速加工需求
- 最多可配置5个工艺工位，支持RTP（快速热处理）、PVD（物理气相沉积）、刻蚀或CVD（化学气相沉积）
- 可处理对角线尺寸达15英寸的基板，或使用载具进行“小批量处理”
- 可处理刚性或柔性基板
- 可集成至“全自动化工厂”的前端
在《LAYERS》杂志中了解更多关于 SOLARIS® 系列的信息
SOLARIS® – 提升厚铝层的产能
Evatec SOLARIS®平台提供高速盒到盒加工能力，用于厚度高达18 µm的厚铝膜沉积，每小时产能提升可达60片晶圆，同时确保功率器件应用的均匀性与可靠性。
硬质镀层正是您所需要的
如今的智能设备为我们提供了前所未有的强大功能，但我们也期望它们比以往更加坚固耐用。了解最新的硬质镀膜方案，让您的设备在口袋中经受反复摩擦或在沙滩上日晒沙磨时依然安然无恙。
购买一台新的Evatec设备，只是长期合作的第一步。从初期的量产爬坡支持，到日常维护或升级改造以增加新功能，与Evatec本地客户服务团队携手，最大化正常运行时间与设备使用寿命。
- 增加新功能，支撑您的技术路线图
- 助力延长设备使用寿命
- 本地现场服务工程师随时待命，您需要时我们就在
- 最大化产出——从持续改进计划（CIP）到新工艺部署
- 增加新功能，支撑您的技术路线图
- 助力延长设备使用寿命
- 助力您自主掌控设备
- 量身定制——在Evatec或您自己的Fab