Silicon Austria Labs 突破 PZT 界限

薄膜压电材料（如 PZT）的沉积具有高压电系数和机电耦合系数，其对于超声波换能器 (pMUT)、微镜片和喷墨头等应用中生产未来的智能传感器和驱动器至关重要。开发控制最佳晶体生长、薄膜应力和均匀性的稳定的制造工艺是交付给 MEMS 代工厂和 IDM 所需的 PZT 薄膜的关键。这正是最近 Silicon Austria Labs在新制造能力方面的正在做的投入。

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