闪烁体 - 数字化

蒸发技术解决了"厚"层镀膜的难题，使最新的大面积数字闪烁体技术可用于医疗和工业用途。Evatec 产品经理Kurt Flisch告诉我们如何做。

FPD-不断增长的医疗保健市场

平板探测器（FPD）中使用的数字X射线探测器将X射线转换为电子数据，计算机可以将其处理并快速转换为图像。这些FPD首先通过闪烁介质将X射线转换为可见光，然后将该可见光通过光电二极管或TFT转换为电荷。最常见的数字闪烁体基于碘化铯（CsI）和碘化铊（TlI）等材料。

迄今为止，基于FPD的机台正逐渐取代医疗行业所使用的传统模拟和计算机射线照相（CR）机台，这些机台具有以下缺点：辐射量较高，图像质量较差，诊断耗时长且需要化学处理。一些分析师预计，到2021年该领域的FPD市场将达到17亿美元。

蒸发技术解决了CsI / TlI的制造难题

• 典型所需镀膜层是掺CsI且典型的TlI掺杂率在2％至3.0％之间。
• 必须处理各种尺寸和形状的面板：正方形，矩形，最大值为17“ x 17”（胸部X射线）。
• 所需的层厚度比典型的薄膜镀膜工艺要高得多，为500 – 600μm，而运动图像检测器则超过700μm。
• 整个镀膜在5个小时或更长时间内，典型的基板温度必须保持在150℃以下。

CsI和TlI表现出独特的非线性温度梯度，在加速 升温 - 快门 (挡板) 关闭和蒸发过程中控制源温度，这对于在延长的处理时间内保持源稳定性至关重要。在整个蒸发过程中，两种材料的精确速率控制也极为重要，因为闪烁体的性能对TlI掺杂水平的微小变化高度敏感。

以上内容摘自LAYERS 4 刊发于2018/2019的文章，阅读全文请点击此处。 

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