SMART Center - "快速跟踪"压电

位于马萨诸塞州波士顿的The Northeastern University SMART中心新增一台Evatec CLUSTERLINE® 200以期提高其纳米加工能力。

学术研究所与设备制造商Evatec 之间的合作关系将有助于加速最先进的压电材料和器件的发展。CLUSTERLINE® 200机台为SMART中心及其科学家团队提供了最先进的功能，不仅用于研究和开发，还可以引导生产高性能的压电微米和纳米系统。Evatec 的CLUSTERLINE® 200机台可在8英寸基板上镀氮化铝（AlN）和掺钪（Sc）的氮化铝（ScAlN）压电薄膜，从而可以很好地控制结晶度，应力，化学计量和均匀性。

"这是在多家商业代工厂生产验证过的机台，它使我们能够使用成熟，通用，可扩展的制造工艺来对尖端的传感，计算和通信微/纳米设备进行原型制作。这对于加速我们的新技术落地，以满足商业和国防需求的系统和产品的过渡至关重要"，the Northeastern University SMART中心主任Matteo Rinaldi教授说。

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注：图片转载自Northeastern University 摄影师Ruby Wallau。