欢迎来到 The Thin Film Powerhouse,作为薄膜技术的全球领导者,我们不仅设计和制造工业用生产机台,同时为全球领先的研发机构提供定制工程解决方案。
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我们致力于在先进封装,半导体,光电和光学的核心市场提供完整的生产解决方案。选择相关市场,了解Evatec 解决方案如何给您带来领先优势。
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芯片,晶圆和面板级工艺方案
芯片,晶圆和面板级工艺方案(WLCSP, FOWLP, FOPLP, 2.5D, 3D, IC)
专业金属化和薄晶圆加工
受益于Evatec 在功率器件应用方面的长期经验,可提高MOSFET, IGBT, IGCT, LDMOS, SiC和GaN等功率器件的批量生产的生产率,工艺稳定性和良率。
薄膜应用于感应,驱动和磁性
了解Evatec 技术应用于集成稳压器 (IVR) 中的RF-MEMS,传感器,执行器,TFH和软磁的金属,电介质和高级功能材料(磁和压电)的更多信息。
使用蒸镀或溅镀技术的RF滤波器件
我们的镀膜工艺针对金属,触点和电极,压电材料和电介质。包括GaAs上的HBT,GaN上的HEMT技术,IR器件以及RF滤波器件(SAW和BAW)。
LED和高性能光电解决方案
了解Evatec 成熟的机型和PVD工艺组合如何在全球领先的(O)LED芯片,Micro LED和VCSEL等制造商的日常生产中,提高性能并降低每流明成本。
采用先进工艺控制的光学镀膜
从晶圆级光学到 3D 镀膜,从精密光学器件到装饰性和功能性薄膜,阅读更多关于 Evatec 生产解决方案的信息,这些解决方案采用先进工艺控制 (APC) 技术实现极佳的重复性和产能。
刻蚀,蒸镀,溅射和PECVD工艺专业技术是我们生产设备的核心。我们的先进工艺控制(APC)技术能提高产能,提升良率,降低运营成本。
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丰富的蒸镀及溅镀专业技术知识
了解Evatec 的蒸镀和溅镀技术如何帮助您提高产量并降低成本。
用于薄膜特性变更或薄膜层去除的等离子技术
从敏感薄膜的特性改变到高速率薄膜的去除,更多相关信息请参阅Evatec 等离子技术在晶圆或面板级应用。
在低工艺温度下提供高质量镀膜
了解使用PLASMABOX® 技术的Evatec PECVD工艺,以及如何通过确保均匀性的热量分布和极低的交叉污染来提供最佳的薄膜质量。
提高薄膜工艺的精度和良率
了解 Evatec 的先进工艺控制技术 (APC) 如何帮助您提高薄膜工艺的精度和良率。
根据您的应用,基板形式和产量要求,我们提供一系列批量式,集群式和连续式平台架构。配备蒸镀,溅镀,刻蚀和PECVD源科技。我们有超过50多年的工艺和专业生产技术。选择一个机型来了解其硬件和工艺能力。
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有50年工艺知识,蒸镀距离从0.5至2.0米的蒸镀机
目前全球已安装超过2,000台BAK机台,我们将带您了解为何BAK能成为跨半导体,光电和光学的业界标准蒸镀机。
Cluster系列机台,最大可处理650mm 的晶圆或面板
CLUSTERLINE® 系列有最大可处理尺寸为650mm 晶圆或面板的设备机台,在所有Evatec核心市场中,以最安全的传送和最先进的工艺赢得市场的盛誉。
先进封装中晶圆级工艺的优势
应用在300或200mm晶圆上,提供业内最高产量及最低Rc, HEXGON是能让您在UBM, RDL的Fanout中处于领先地位的机台。
金属,介质和磁性薄膜用立式溅射机台
紧凑的设计和灵活性使立式批量溅射机台非常适用于金属,介质层和磁性薄膜,性价比极高,基板尺寸高达200x230mm。
超高产能全自动连续型生产解决方案
SOLARIS® 系列是专为全自动化工厂生产设计而生。最大基片尺寸可达8英寸 (SOLARIS® S151机台) 或15英(SOLARIS® S380机台)。应用领域涵盖了从触摸屏面板到电磁屏蔽,功率器件到光伏电池。
从最初的安装计划开始,我们的全球客户服务团队就将在机台的整个周期内为您提供帮助。了解我们可以提供的服务。
想了解更多?我们很乐意为您提供关于我们公司和服务解决方案的最新消息。
Evatec客户服务 - 快速浏览我们能提供的一切
详细了解服务组合,充分利用Evatec 机台。
快速高效 - 提供建议找出您需要的备件并安排快速交付。
”现场"或"远程支持" - 由您选择
除了解决紧急的机台停机外,还有许多其他方法可以帮助您最大程度地利用Evatec 生产设备。
延长Evatec 的机台的使用寿命
解决老龄备件停产的问题及通过新增硬件和工艺功能加强Evatec 机台的利用率,了解我们如何为您提供帮助。
来我们瑞士总部,或让我们的培训师来拜访您,或使用最新的远程技术。我们合格的培训师随时准备为您提供帮助。
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即将举办的活动日程
获取即将举办的活动的详细信息,您可以来听我们的演讲或在展位上与我们会面
首席执行官Andy Waelti 介绍我们的周年纪念版《LAYERS》,回顾过去 20 年,展望未来 20 年。
CLUSTERLINE® 200 和 Evatec PEALD 的强大组合!在我们的新视频中了解 PEALD 技术如何带来更好的覆型性、精确的厚度控制和可重复性,且控制在极低的使用成本。
和我们一同庆祝吧!深入阅读《LAYERS 8》,这里有访谈内容、Evatec发展历程的故事,以及半导体和先进封装、化合物和光子学领域的最新薄膜技术资讯。
奥地利SAL实验室与Evatec公司合作,通过在萨尔茨堡菲拉赫工厂新增的 PEALD 工艺腔来提升薄膜技术能力。
请在此处了解更多Evatec 与 Onto Innovation 关于新设立的封装应用卓越中心 (PACE)的合作信息。
Evatec 首席科学家 Silvia Schwyn Thoeny 博士和 Stephan Waldner 博士对 aSi-SiO2 量子化纳米叠层的最新研究,使光学材料的探索工作有了质的飞跃。
我们很高兴宣布与 Silicon Austria Labs (SAL) 和其他行业合作伙伴建立战略合作关系。此次合作旨在为基于 MEMS 的微型扬声器开发最先进的解决方案。
观看最新的全球大趋势视频,了解Evatec薄膜生产解决方案如何塑造新的世界
意发薄膜科技(上海)有限公司的客户服务总部搬到江苏无锡新的办公室了
在此阅读我们对欧盟钢铁进口新法规的确认。
阅读减反射和高反射镀膜的生产解决方案
在我们的BAK系列宣传册中了解最新一代的BAK蒸发台
20 名年轻人参观了 Evatec 2023未来日活动,了解有关公司和我们学徒计划的更多信息
英特尔和Evatec的专家,研究了在Evatec的CLUSTERLINE®上进行高质量低应力SiN和SiCN薄膜沉积的可行性。
从 Micro LED 到边发射激光器和 RF 滤波器, CLUSTERLINE® 200 BPM 为您提供薄膜沉积方面的金牌性能
Evatec的专家告诉我们SiC等宽禁带(WBG)材料在新兴功率器件应用中可以发挥重大作用的原因。
光电事业部总裁Jakob Bollhalder,回答了有关该行业的未来角色、其面临的挑战以及Evatec如何做出贡献的问题。
Evatec专家介绍了大众市场应用所需的不同智能眼镜技术和具有成本效益的8寸(200)或12寸(300mm)晶圆镀膜解决方案。
新的 HEXAGON 保持了经过验证的、可靠的工艺能力和高产量的既有优势,并在工艺能力、产量、正常运行时间、易使用性和可维护性等方面提供了重大改进和革新。
走进亚太区总裁 Kevin Chen先生和大中华区销售与市场副总 Henfy Su 的采访,了解中国化合物半导体和先进封装行业的市场发展。
Evatec的专家向我们介绍了一些可通过沉积条件影响ITO的薄膜特性。
Evatec的专家仅举了一个生产解决方案例子,助力先进CMOS晶圆厂引领新的方向。
TechSearch International公司总裁兼创始人E. Jan Vardaman回顾了当前的发展状况和未来的挑战。
首席执行官 Andy Waelti 告诉我们,为了满足客户在 2023 年的需求Evatec所采取的行动,并介绍了新的 LAYERS 杂志。
在您的现场、在我们的总部或使用“HOLOLENS”技术进行远程在线学习的培训 – 选择权在您手中
我们第7期薄膜技术杂志 "LAYERS "刚刚发行。现在就来了解一下里面的内容,并订阅吧。
Evatec刚刚完成了ISO 9001和ISO 14001的重新认证程序,直到2026年。我们也为获得ISO 45001认证而感到自豪。
更容易装载,更好的真空条件,甚至更好的重复性——有什么理由不喜欢呢!了解更多信息。
Andy Waelti 荣获瑞士 2022年度企业家奖
使用XPERIENCE模拟器意味着可以将您的Evatec机台放置到电脑桌面上。用来培训您的人员,开发和测试工艺配方,并在您使用软件更新功能之前熟悉它们。
Evatec的CLUSTERLINE支持欧洲MADMAX项目寻找暗物质
MULTI-BAK - 最多可配置4个工艺腔室,具备全自动化生产所需的所有基板装载和搬送功能。立即访问视频以获取更多信息。
随着最一代CLUSTERLINE® 300设备新型高性能、前沿溅射模块的发布,Evatec半导体事业部开发项目高级经理Kai Wenz透露了他的一些想法。
新一代的HEXAGON已经上线。我们新一代的HEXAGON是FOWLP的极佳选择,以最好的性价比提供最低的Rc值。
对于高精密光学薄膜的生产,光学监控技术是提高精度和工艺产量的理想方法。了解更多
产品市场经理Yu Chongqi博士回顾了 VCSEL 技术对 3D 传感和其他不断发展的市场的益处,以及 Evatec 如何应用专业知识为 VCSEL 制造商提供极佳的薄膜生产解决方案。
让 Evatec 技术人员在您身边为您提供支持是维护和提高整体系统性能和正常运行时间的好方法。
凭借更强的工艺能力,更紧凑的占地面积和更高的产能,新的HEXAGON机台在在扇出晶圆级处理 (FOWLP) 方面可为您提供更多。 立即观看视频预览。
为满足业务发展需要,我们很高兴地通知您自 2021 年 12 月 18 日起,意发薄膜科技(上海)有限公司 (Evatec China Ltd.) 将搬迁至新的办公室,地址如下
Evatec 产品市场经理 Silvio Nigg 谈及智能手机如何识别我们以及需要哪些光学涂层。
Evatec的客户服务部总裁Thomas Germann列举了一些Evatec提供的最新客户服务解决方案,让我们对未来有了初步的了解。
Evatec 战略销售和市场总裁Reinhard Benz博士介绍了Evatec在日本扩展业务的进展。
行业大师 Steffen Kroehnert 分享了他对先进封装行业以及代工厂, IDM 和供应商的新兴机会的看法。
了解面向靶材溅射技术如何提供具有最佳垂直磁各向异性的磁性多层膜,而无需进行沉积后退火
Evatec 的全新 BAK941 最多可配置多达 4 个集群式的工艺腔和完整的前端自动化,为即将到来的无线通信应用提供了令人兴奋的新的可能性。
认识Evatec的后台人员为“thin film powerhouse”注入”力量“
Silicon Austria Labs (SAL) 和 Evatec 在锆钛酸铅压电陶瓷 (PZT) 技术方面取得突破。了解更多。
先进封装事业部总裁,回答了有关行业向前发展的作用、面临的挑战以及 Evatec 如何对此做出贡献的问题。
Seagate的Xiaoyue P. Huang 博士和 Michael C. Kautzky 博士解释了薄膜技术如何开创性地引入新的驱动技术,以提供超越当今垂直磁记录密度限制的商业可行途径。
尽管发生了COVID-19危机,Fraunhofer IZM 和包括Evatec在内的PLC 2.0联盟的17个合作伙伴在第一年就取得了优异的成绩。 点击这里,了解更多关于他们的工作。
Evatec 的 Maria Fischer 博士向我们介绍了新的硬质涂层解决方案,智能设备受到口袋中的钥匙反复冲击时或在沙滩边砂砾上时可以有效保护屏幕。
Evatec的数字转换项目在3年前就开始了。CTO Marco Padrun回答了数字化对Evatec的意义,我们目前所处的位置,以及它如何帮助我们的公司做好准备,无论我们的道路通向何方。
您是否需要移动 Evatec 机台?帮助您以最有效的方式重新安装调适您的Evatec机台
Evatec产品市场经理Jakob Bollhalder介绍LED和微型LED之间对薄膜工艺要求的区别,以及磁控溅射技术可以提供什么?
根据客户的不同应用定制工艺配置实现机台当前的高产能和高性能需求。了解Evatec提供的最优工艺控制和生产力。
Evatec CEO Andy Waelti 回顾了2020年带来的挑战和机遇,以及Evatec为应对未来而采取的措施。
LAYERS 6刚刚出版。 快速预览内文并预定纸质版本吧。
德国政府刚刚宣布国家拨款1,900万欧元,用以开发量子技术方面的研发和在工业方面的潜在应用
观看Evatec 新的机台定制与开发周期管理软件的简短视频
与传统的LED生产相比,膜层类型可能是相同的,但是对新兴的Micro LED技术需求是不同的。光电事业部总裁Stefan Seifried如是说。
了解我们的机台体检服务。
Fraunhofer IZM实验室与Evatec 合作开发下一代 FOPLP和 IC - 基板处理技术。
配备了增强型薄膜性能表现和测量工具的增强型实验室环境,是帮助我们的客户加快新工艺开发速度的理想方式。
The Northeastern University SMART中心新增一台Evatec CLUSTERLINE® 200以期提高其纳米加工能力。
Evatec 是Prix SVC Ostschweiz大奖的获得者
您是否正在寻找已经获得主要OSAT和IDM认证的面板级封装解决方案?看看CLUSTERLINE® 600吧。
SilTerra配置了Evatec 的CLUSTERLINE® 200,以制造高性能的压电MEMS器件。
Evatec 先进封装事业部获颁中芯长电半导体有限公司SJ Semi优秀供应商奖。
了解有关使用反应溅射氮化硅薄膜,应用于低损耗CMOS工艺兼容氮化硅光子学,生产解决方案的信息 - 查看发表在Optics Express 2019 12月刊的论文。
Evatec 是Prix SVC (瑞士风投俱乐部) 企业家奖的六名决赛选手之一。
Evatec 和Disco Hi-Tec宣布合作伙伴关系,共同开发Evatec CLUSTERLINE® 300 II机台的工艺。
SkyWater选择了配备高性能蒸发技术的CLUSTERLINE® 300用于新工艺开发。