关于我们
公司概况
镀膜技术，塑造全球数百万人的生活
八十年来，镀膜技术始终处于全球创新的核心位置。Evatec 源自 1946 年的Balzers AG，如今致力于赋能先进半导体、 光电子和光子学应用的生产。在 Evatec 系统上制备的半导体薄膜，为通信网络、智能设备、电动与自动驾驶汽车、医疗保健系统及工业电子产品带来了性能上的新突破。
受设备日益微型化和高能效需求的驱动，镀膜沉积技术在实现传感、成像、连接性和能源管理方面的进步中，扮演着决定性角色。Evatec 的专业知识确保下一代设备能够以更高的精度、更快的速度、更强的可靠性和能效运行——这涵盖了从下一代 6G 移动网络的开发，到推动增强现实可穿戴设备走向大众市场的 Micro LED 技术，再到用于人工智能的高性能计算。
我们的制造之道
从研发到大规模量产，Evatec 为全球客户提供镀膜生产设备与工艺。凭借长达 80 年的工艺积淀，我们为当下及未来的器件技术，赋能高可靠性的半导体薄膜量产工艺。我们的平台整合了刻蚀与沉积技术，并运用先进的过程控制方法，确保生产的高良率和最优的拥有成本。
探索我们所有系列的沉积平台，请联系您当地的销售与服务机构，或访问单个产品页面。产品列表
我们的技术
赋予您领先优势的镀膜技术
Evatec 提供完整的镀膜生产解决方案，集成了配备 Evatec 专有溅射/蒸发源技术的高级沉积平台，以及数十年的镀膜工程经验。我们服务于先进封装、半导体、光电子和光子学市场的客户，应用我们在刻蚀、蒸发、溅射、PECVD 和 PEALD 领域的核心技术能力。
Evatec 平台上的先进过程控制提升了产率、良率和工艺稳定性。等离子体发射监测技术控制化学计量比并提高反应工艺的沉积速率以实现更高产能，而晶振和光学系统则确保了精确的膜厚和工艺重复性。
蒸发技术
Evatec 的蒸发技术源于巴尔策斯电子束平台，并经数十年不断完善。卓越的蒸发源稳定性，结合优化的材料利用率和先进的原位控制技术，为光学、光电子和半导体应用提供了精确、高重复性的薄膜。
溅射技术
我们的溅射设备采用 Evatec 专有阴极技术，可满足多样化的材料和器件要求。在所有情况下，长的靶材寿命和稳定的沉积条件确保了结果的可重复性和优异的拥有成本。
等离子体刻蚀解决方案
ICP 和 CCP 等离子体源支持表面改性、清洁和受控的镀膜去除。这些工艺改善了后续沉积步骤中的附着力、界面质量和整体稳定性。
等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 与 PLASMABOX®
PLASMABOX® 等离子体源技术在 CLUSTERLINE® 设备上提供了高纯度、高均匀性的低温 PECVD 工艺。它支持在敏感材料有限的热预算条件下，为半导体、光电子和光子应用沉积介质层，并且原位源清洁功能减少了晶圆厂内的维护工作量。
等离子体增强原子层沉积 (PEALD) 技术
Evatec 的 PEALD 模块能够在平面和带结构的衬底上，沉积具有优异保形性和精确厚度控制的高纯度介质层。集成于 CLUSTERLINE® 200 平台，该模块支持低温工艺，并可在不破坏真空的情况下，与刻蚀、PVD 和 PECVD 步骤无缝衔接。这有助于为半导体、MEMS、射频和功率器件制造中的应用提供均匀、无损伤的薄膜。
尖端实验室 (ECL)
Evatec ECL 提供具备 ISO4 级能力的设施，配备 30 多台沉积设备和 20 多种测量方法。它与客户和研究机构合作，支持新工艺、新材料和新堆叠膜层系统的协同开发，并衔接早期研发与工业化生产。
点击此处 了解更多关于该设施于 2019 年建立的信息。
我们的业务领域
以专有知识，赋能互补市场
Evatec 依托 80 年的薄膜专业技术，支持广泛的应用。我们的核心市场包括: 前道工艺集成, 晶圆级封装, 面板级封装, 功率器件, 无线通信, 微机电系统, 分立 LED / 激光器, 晶圆级光学, 精密光学, 功能性涂层
技术协同，跨界赋能
在这个瞬息万变的世界里，"半导体"与"光学"正不断融合。Evatec 充分利用其 80 年的经验积累，将一个市场的经验借鉴到另一个市场以支持其发展。一方面，Evatec 最初为传统光学镀膜应用开发的光学监测控制能力，现在正帮助我们在特定光电子和半导体应用领域的客户，为其下一代器件实现性能新突破。另一方面，为半导体行业量产平台开发的全自动晶圆处理方案，现在正支持我们在新兴晶圆级光学应用领域的客户，以高良率和无颗粒污染工艺实现高质量光学镀膜。
物联网与数字化驱动的市场
Evatec 的专业技术助力不断扩展的物联网领域，其中传感、通信和处理要求高能效下的精度、小型化和速度。Evatec 的镀膜专业知识帮助客户加速技术路线图，为新兴器件世代采用可靠的镀膜生产解决方案。
先进工艺控制与工程卓越
Evatec 的先进工艺控制解决方案，将在多领域工艺、等离子体物理和真空技术方面的专业知识，融入到镀膜生产过程的"原位"测量和实时调谐中，从而提供：
- 实现最佳工艺良率的精度和重复性
- 以最低拥有成本实现量产所需的更高产出量
- 在新材料和新器件类型开发中的可扩展性能
拥有超过 200 项专利，Evatec 持续推动用于半导体、光电子和光子学应用的薄膜沉积技术进步。
人才、知识与全球售后网络
Evatec 的全球组织包括经验丰富的工程师和专家，他们在研发或大规模生产中为客户提供支持。我们在欧洲、亚洲和美国设有分支机构，为客户提供培训和售后服务，通过安装新能力、进行技术改造，确保设备稳定可靠运行并延长其使用寿命，以满足客户不断变化的需求。
若要阅读我们的企业社会责任政策，请点击此处。
质量至臻，永续至诚，制造至善
在 Evatec，我们遵循 ISO 9001 和 ISO 14001 标准，强调结构化的质量管理、资源效率和可持续的产品设计。我们的环保工作包括减少废弃物、降低排放、负责任的设备报废处理。
若要查看我们的 ISO 认证（英文或德文版本），可点击以下链接：ISO 9001 英文版、ISO 9001 德文版、ISO 14001 英文版、ISO 14001 德文版。
未来愿景
Evatec 的长期愿景是通过先进的镀膜技术，推动能效、连接性、移动性、数据处理和智能传感领域的创新。随着人工智能、自动驾驶和先进医疗保健的加速发展，精确的薄膜沉积技术变得日益关键。Evatec 通过提供能够实现更高器件性能、更低功耗和更强功能的系统，来支持这些趋势。
若要了解更多关于我们的愿景、使命和环境政策，请点击此处。
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现场支持 – 我们为您提供帮助
让 Evatec 技术人员在您身边为您提供支持是维护和提高整体系统性能和正常运行时间的好方法。
Evatec 获得SJ Semi奖项
Evatec 先进封装事业部获颁中芯长电半导体有限公司SJ Semi优秀供应商奖。