Evatec Clusterline 200 CLN200

CLUSTERLINE®

Cluster系列包括200mm,300mm和600mm 机台

 

CLUSTERLINE® 系列

CLUSTERLINE® 系列机台是根据其可处理晶圆尺寸的大小而命名。所有机台配置以晶圆盒到晶圆盒 (Cassette-to-Cassette) 和全自动传送集群式架构。CLUSTERLINE® 上的生产解决方案遍及所有Evatec 六个核心市场。

无论您的应用是什么,我们的专家都可以帮助您为您配置理想的CLUSTERLINE® 机台和提供完善的工艺解决方案,包括高度对准的磁性膜,用于宽带RF滤波器的高性能压电材料(如AlScN)和高效的能量采集器件,先进封装中的高深宽比TSV金属工艺或用于最新Micro LED的透明导电氧化物 (TCO) 多层电介质的精确镀膜技术和3D滤光片技术。