"SOLARIS® 系列"

1.

SOLARIS® 系列

SOLARIS® 系列是专为全自动化工厂生产设计而生。最大基片尺寸可达8英寸 (SOLARIS® S151机台) 或15英(SOLARIS® S380机台)。应用领域涵盖了从触摸屏面板到电磁屏蔽，功率器件到光伏电池。

2.

SOLARIS® S151

S151是专为高产能低能耗生产而设计，应用于需要RTP,PVD,刻蚀或CVD工艺镀膜的领域。如功率器件，光伏太阳能，光学薄膜等，具有高速稳定安全的基板传输系统，最大基片尺寸可达8英寸。

3.

SOLARIS® S380

S380 专为高产能大面积刚性或柔性基板镀膜生产而设计，应用于需要RTP,PVD,刻蚀或CVD工艺镀膜的领域，具有高速稳定安全的基板传输系统，最大基片尺寸可达15英寸。

4.

公司简介

我们的技术已经塑造世界70余年。

了解更多关于我们公司，我们的产品，以及Evatec 薄膜是如何无处不在的应用于我们的日常生活中。

5.

功能性镀膜

Evatec 高端功能镀膜解决方案可提升您的产品性能 – 以最低的用户成本实现高性能和高产量。

6.

晶圆级光学器件

WLO 利用半导体技术大规模生产微型光学器件。Evatec 实现了低成本高效率的生产，可用作独立部件或用于预加工裸晶。

7.

功率器件

受益于 Evatec 在功率器件应用方面的丰富经验，提高您在 MOSFET、IGBT、IGCT、LDMOS、SiC 和 GaN 功率器件批量生产中的生产率、工艺稳定性和产量。