"SOLARIS"

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SOLARIS

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SOLARIS® 系列

SOLARIS® 系列是专为全自动化工厂生产设计而生。最大基片尺寸可达8英寸 (SOLARIS® S151机台) 或15英(SOLARIS® S380机台)。应用领域涵盖了从触摸屏面板到电磁屏蔽，功率器件到光伏电池。

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Augmented Reality

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SOLARIS® S151

S151是专为高产能低能耗生产而设计，应用于需要RTP,PVD,刻蚀或CVD工艺镀膜的领域。如功率器件，光伏太阳能，光学薄膜等，具有高速稳定安全的基板传输系统，最大基片尺寸可达8英寸。

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增强现实 - 只需触摸一下

高级产品经理Stephan Voser解释了SOLARIS® 如何轻松地以完全自动化的方式为现有和即将到来的应用 (例如增强现实AR) 处理各种光学薄膜工艺。

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SOLARIS® S380

S380 专为高产能大面积刚性或柔性基板镀膜生产而设计，应用于需要RTP,PVD,刻蚀或CVD工艺镀膜的领域，具有高速稳定安全的基板传输系统，最大基片尺寸可达15英寸。

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LED or LASER

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LAYERS Edition 6 Hard Coatings

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DLC

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BIOMETRICS_LAYERS6

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功能性镀膜

Evatec 高端功能镀膜解决方案可提升您的产品性能 – 以最低的用户成本实现高性能和高产量。

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MSP Brochure

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物理气相沉积（PVD）技术

了解Evatec 的蒸镀和溅镀技术如何帮助您提高产量并降低成本。

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功率器件

受益于 Evatec 在功率器件应用方面的丰富经验，提高您在 MOSFET、IGBT、IGCT、LDMOS、SiC 和 GaN 功率器件批量生产中的生产率、工艺稳定性和产量。

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晶圆级光学器件

WLO 利用半导体技术大规模生产微型光学器件。Evatec 实现了低成本高效率的生产，可用作独立部件或用于预加工裸晶。

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刻蚀技术

从敏感薄膜的特性改变到高速率薄膜的去除，更多相关信息请参阅Evatec 等离子技术在晶圆或面板级应用。

17.

先进工艺控制（APC）技术

了解 Evatec 的先进工艺控制技术 (APC) 如何帮助您提高薄膜工艺的精度和良率。

 

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PEALD 技术

了解 Evatec 的先进工艺控制技术 (APC) 如何帮助您提高薄膜工艺的精度和良率。

 

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公司简介

我们的技术已经塑造世界70余年。

了解更多关于我们公司，我们的产品，以及Evatec 薄膜是如何无处不在的应用于我们的日常生活中。