"CLUSTERLINE® 系列"

1.

CLUSTERLINE® 系列

CLUSTERLINE® 系列有最大可处理尺寸为650mm 晶圆或面板的设备机台，在所有Evatec核心市场中，以最安全的传送和最先进的工艺赢得市场的盛誉。

2.

CLUSTERLINE® 300

300mm 的机台，可处置薄晶圆取放，背面金属工艺，晶圆级芯片尺寸封装 (WLCSP) 和扇出型晶圆级封装 (FOWLP) 封装应用以及集成稳压器 (IVR) 上软磁材料镀膜等等，了解更多CLUSTERLINE® 300配置选项和相关工艺。

3.

CLUSTERLINE® 600

集群式机台Cluster专注于面板级先进封装，集合了Evatec在除气，刻蚀和镀膜方面的专业知识。

4.

CLUSTERLINE® 200

从薄晶圆处理和背面金属化工艺到镀新的压电材料 (如AlScN),或为消费类设备应用生产精确的近红外光 (NIR) 带通滤波器，了解CLUSTERLINE® 200配置选项和相应工艺能力的更多信息。