定制化解决方案

专门为您提供的定制源,监控系统和定制化工程方案

 

您需要特殊腔体尺寸,特殊蒸镀源或基板挂架的解决方案或研发用的机台吗?

如何定制  

  • 联系我们的设计和机械工程团队设计自定义腔体配置
  • 通过我们的工艺专家开发新的源和工艺控制技术
  • 为您的大学或研究所配置专属的研发用机台

 

您的想像力是唯一的限制

  • 我们提供了许多特殊几何形状的基板挂架,蒸镀源设计和工艺控制技术的选项,希望我们的标准产品组合能满足您的需求。且随着全球交付了2,000多台蒸镀机系统,我们可以追溯整个定制化的历史,包括机械工程解决方案和特殊蒸镀源设计。我们可以为您量身定制一个BAK设计。BAK UNI就是Evatec系统的其中一个范例,该系统专门针对大学和研究所的需求而开发。

 

请与我们联系询问我们的定制化构建方案,了解BAK UNI功能和选项的更多信息。

 

BAK机台可根据您的产量,装载和追溯基板的需求,决定是否配置辅助装载选项。

单晶圆 / 基板夹具的传送

该前侧传送系统非常适合于基板容量有限的小尺寸BAK机台,意味着工艺腔可以保持在真空状态下,一旦装载之后挂架中的每个位置都可以进行镀膜。通过维修区的空间可对腔体进行维护或补充蒸镀材料。

辅助式基板挂架装载/卸载("Lazy Susan")

已经完成基板装载的挂架,打开腔门让腔体在大气的情况下进行传送。该系统适用于各种机型尺寸,在手动装载有困难的装载高度或是装载好的挂架在大气下会对BAK造成沉重负担的理想选择。可以搭配第二个装卸缓冲站,以减少总体装载时间。

晶圆盒到晶圆盒(Casette-to-cassette) (BAK自动装载)

对于8英寸以下的晶圆,BAK自动装载功能完全消除手动处理晶圆的麻烦,节省时间,消除操作员错误,降低成本。BAK 自动装载系统负责所有必要步骤,包括将晶圆以平边或刻槽进行对齐,已完成装载的挂架和完成镀膜工艺的挂架,通过机器的侧边埠口进行挂架交换。机器手臂和操作环境的精确度控制避免了潜在的损坏或污染源。通过控片的定位可以追溯整个晶圆的镀膜过程,或者可以将计量晶圆包含在自动装载过程。

晶圆盒到晶圆盒,加装真空预载系统(Load Lock) (BAK自动装载 & 真空预载)

与标准自动装载版本一样,机器手臂系统可以处理所有操作。但附加的中间真空预载腔体系统可以将处理腔室保持在真空状态,缩短周期时间并提高产量。

在线查看BAK机台自动装载数据表,或下载完整的BAK系列手册,了解BAK系列更多功能信息。

 

 

"BAK"的名字已有50年历史了,现在比过去有更多的镀膜和控制技术的选择。将您现有的BAK机台提升到最新标准,现在就是最好的时候 - 实现对金属,氧化物,透明导电氧化物 (TCO) 和化合物镀膜,实现新的工艺控制和产量标准。

为什么要升级翻新

  • 适用新的复杂工艺
  • 提高工艺良率
  • 增加运行时间
  • 追溯您的工艺 – 数据记录和质量检查
  • 更换过时停产的零件

 

提升镀膜表现

通过升级翻新将镀膜机的性能提高至新水平。了解现有BAK机台升级翻新可能性的更多信息,请点击此处下载手册

 

您需要特殊腔体尺寸,特殊蒸镀源或基板挂架的解决方案或研发用的机台吗?

如何定制  

  • 联系我们的设计和机械工程团队设计自定义腔体配置
  • 通过我们的工艺专家开发新的源和工艺控制技术
  • 为您的大学或研究所配置专属的研发用机台

 

您的想像力是唯一的限制

  • 我们提供了许多特殊几何形状的基板挂架,蒸镀源设计和工艺控制技术的选项,希望我们的标准产品组合能满足您的需求。且随着全球交付了2,000多台蒸镀机系统,我们可以追溯整个定制化的历史,包括机械工程解决方案和特殊蒸镀源设计。我们可以为您量身定制一个BAK设计。BAK UNI就是Evatec系统的其中一个范例,该系统专门针对大学和研究所的需求而开发。

 

请与我们联系询问我们的定制化构建方案,了解BAK UNI功能和选项的更多信息。

 

BAK机台可根据您的产量,装载和追溯基板的需求,决定是否配置辅助装载选项。

单晶圆 / 基板夹具的传送

该前侧传送系统非常适合于基板容量有限的小尺寸BAK机台,意味着工艺腔可以保持在真空状态下,一旦装载之后挂架中的每个位置都可以进行镀膜。通过维修区的空间可对腔体进行维护或补充蒸镀材料。

辅助式基板挂架装载/卸载("Lazy Susan")

已经完成基板装载的挂架,打开腔门让腔体在大气的情况下进行传送。该系统适用于各种机型尺寸,在手动装载有困难的装载高度或是装载好的挂架在大气下会对BAK造成沉重负担的理想选择。可以搭配第二个装卸缓冲站,以减少总体装载时间。

晶圆盒到晶圆盒(Casette-to-cassette) (BAK自动装载)

对于8英寸以下的晶圆,BAK自动装载功能完全消除手动处理晶圆的麻烦,节省时间,消除操作员错误,降低成本。BAK 自动装载系统负责所有必要步骤,包括将晶圆以平边或刻槽进行对齐,已完成装载的挂架和完成镀膜工艺的挂架,通过机器的侧边埠口进行挂架交换。机器手臂和操作环境的精确度控制避免了潜在的损坏或污染源。通过控片的定位可以追溯整个晶圆的镀膜过程,或者可以将计量晶圆包含在自动装载过程。

晶圆盒到晶圆盒,加装真空预载系统(Load Lock) (BAK自动装载 & 真空预载)

与标准自动装载版本一样,机器手臂系统可以处理所有操作。但附加的中间真空预载腔体系统可以将处理腔室保持在真空状态,缩短周期时间并提高产量。

在线查看BAK机台自动装载数据表,或下载完整的BAK系列手册,了解BAK系列更多功能信息。

 

 

"BAK"的名字已有50年历史了,现在比过去有更多的镀膜和控制技术的选择。将您现有的BAK机台提升到最新标准,现在就是最好的时候 - 实现对金属,氧化物,透明导电氧化物 (TCO) 和化合物镀膜,实现新的工艺控制和产量标准。

为什么要升级翻新

  • 适用新的复杂工艺
  • 提高工艺良率
  • 增加运行时间
  • 追溯您的工艺 – 数据记录和质量检查
  • 更换过时停产的零件

 

提升镀膜表现

通过升级翻新将镀膜机的性能提高至新水平。了解现有BAK机台升级翻新可能性的更多信息,请点击此处下载手册

 

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