"SOLARIS® 系列"

1.

SOLARIS® 系列

SOLARIS® 系列是专为全自动化工厂生产设计而生。最大基片尺寸可达8英寸 (SOLARIS® S151机台) 或15英(SOLARIS® S380机台)。应用领域涵盖了从触摸屏面板到电磁屏蔽，功率器件到光伏电池。

2.

SOLARIS® S151

S151是专为高产能低能耗生产而设计，应用于需要RTP,PVD,刻蚀或CVD工艺镀膜的领域。如功率器件，光伏太阳能，光学薄膜等，具有高速稳定安全的基板传输系统，最大基片尺寸可达8英寸。

3.

SOLARIS® S380

S380 专为高产能大面积刚性或柔性基板镀膜生产而设计，应用于需要RTP,PVD,刻蚀或CVD工艺镀膜的领域，具有高速稳定安全的基板传输系统，最大基片尺寸可达15英寸。