"BAK系列"

1.

新的BAK系列宣传册上线

在我们的BAK系列宣传册中了解最新一代的BAK蒸发台

2.

为您选择正确的BAK机型

无论您需要手动传送还是自动传送，标准蒸镀距离或加长蒸镀距离。请参阅我们的机型尺寸概述，以帮助您在选择最佳系统配置之前先找到合适的机型尺寸。

3.

BAK系列

目前全球已安装超过2,000台BAK机台，我们将带您了解为何BAK能成为跨半导体，光电和光学的业界标准蒸镀机。

4.

选择配置

我们的BAK机台具有很大的灵活性。可从“标准蒸镀距离”或"Lift Off"工艺中进行选择。适用于半导体，光电和光学镀膜的全应用范围。根据您的工艺要求和晶圆厂的整合需求可添加“分离式腔体”和“辅助装载”等选项。

5.

蒸镀源和基板挂架

Evatec 在开发高性能的蒸镀源技术和定制化基板装载的解决方案方面具有丰富的经验。我们所有的蒸镀源和基板装载方案都是专为7x24小时生产而设计的。

6.

定制化解决方案

基于Evatec积累50年蒸镀机生产机台的经验，我们提供一系列的配置方案和辅助装载选项，为您配置最适合您使用的BAK机台。

7.

功率器件

受益于 Evatec 在功率器件应用方面的丰富经验，提高您在 MOSFET、IGBT、IGCT、LDMOS、SiC 和 GaN 功率器件批量生产中的生产率、工艺稳定性和产量。

8.

无线

Evatec 是金属、电极层、压电层和电介质 PVD 解决方案的先驱，可为射频滤波器、放大器、GaN HEMT 和红外器件赋能。我们的批量生产系统定义了无线性能标准。 

9.

精密光学器件

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晶圆级光学器件

WLO 利用半导体技术大规模生产微型光学器件。Evatec 实现了低成本高效率的生产，可用作独立部件或用于预加工裸晶。

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微机电系统

Evatec 为传感器、驱动器、薄膜磁头 和量子计算中使用的金属、介电层和先进功能材料（磁性材料和压电材料）提供生产解决方案。

12.

分立式 LED / 激光器

探索 Evatec 成熟的机台和工艺组合如何在世界领先的 O-LED、Mini-LED、Micro-LED、VCSEL 和 EEL 制造商的日常生产中提高性能并降低每流明成本。