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    关于我们

    欢迎来到 The Thin Film Powerhouse,作为薄膜技术的全球领导者,我们不仅设计和制造工业用生产机台,同时为全球领先的研发机构提供定制工程解决方案。

    我们很乐意为您提供有关我们公司,产品和市场趋势的最新消息。

     

     

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    我们的技术已经塑造世界70余年。

    了解更多关于我们公司,我们的产品,以及Evatec 薄膜是如何无处不在的应用于我们的日常生活中。

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    查看我们遍布全球的网络,查找并联系您当地的销售和服务办公室。

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    了解我们的员工职业发展状况,并查看最新职位。

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    了解我们如何与客户,员工和供应商携手合作,以取得所有人的共赢。

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    企业社会责任

    指引我们公司的原则

    企业社会责任

    我们尊重周围的人,支持我们的社区并为下一代节省资源。 了解更多。

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  • 应用市场

    应用市场

    我们致力于在先进封装,半导体,光电和光学的核心市场提供完整的生产解决方案。选择相关市场,了解Evatec 解决方案如何给您带来领先优势。

    想了解更多?让我们为您提供相关的市场最新信息。

     

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    先进封装

    芯片,晶圆和面板级工艺方案

    先进封装

    芯片,晶圆和面板级工艺方案(WLCSP, FOWLP, FOPLP, 2.5D, 3D, IC)

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    功率器件

    专业金属化和薄晶圆加工

    功率器件

    受益于Evatec 在功率器件应用方面的长期经验,可提高MOSFET, IGBT, IGCT, LDMOS, SiC和GaN等功率器件的批量生产的生产率,工艺稳定性和良率。

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    MEMS/NEMS

    薄膜应用于感应,驱动和磁性

    MEMS/NEMS

    了解Evatec 技术应用于集成稳压器 (IVR) 中的RF-MEMS,传感器,执行器,TFH和软磁的金属,电介质和高级功能材料(磁和压电)的更多信息。

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    无线通讯

    使用蒸镀或溅镀技术的RF滤波器件

    无线通讯

    我们的镀膜工艺针对金属,触点和电极,压电材料和电介质。包括GaAs上的HBT,GaN上的HEMT技术,IR器件以及RF滤波器件(SAW和BAW)。

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    光电

    LED和高性能光电解决方案

    光电

    了解Evatec 成熟的机型和PVD工艺组合如何在全球领先的(O)LED芯片,Micro LED和VCSEL等制造商的日常生产中,提高性能并降低每流明成本。

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    光学应用

    先进工艺控制(APC)的高精密光学镀膜

    光学应用

    了解Evatec 高精度光学镀膜的量产解决方案,使用先进工艺控制技术(APC)来确保最佳的重复性和良率。

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  • 技术简介

    技术简介

    刻蚀,蒸镀,溅射和PECVD工艺专业技术是我们生产设备的核心。我们的先进工艺控制(APC)技术能提高产能,提升良率,降低运营成本。

    想了解更多?我们很乐意为您发送技术更新信息。

     

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    物理气相沉积(PVD)技术

    丰富的蒸镀及溅镀专业技术知识

    物理气相沉积(PVD)技术

    了解Evatec 的蒸镀和溅镀技术如何帮助您提高产量并降低成本。

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    刻蚀技术

    用于薄膜特性变更或薄膜层去除的等离子技术

    刻蚀技术

    从敏感薄膜的特性改变到高速率薄膜的去除,更多相关信息请参阅Evatec 等离子技术在晶圆或面板级应用。

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    PECVD技术

    在低工艺温度下提供高质量镀膜

    PECVD技术

    了解使用PLASMABOX® 技术的Evatec PECVD工艺,以及如何通过确保均匀性的热量分布和极低的交叉污染来提供最佳的薄膜质量。

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    先进工艺控制(APC)技术

    提高薄膜工艺的精度和良率

    先进工艺控制(APC)技术

    了解 Evatec 的先进工艺控制技术 (APC) 如何帮助您提高薄膜工艺的精度和良率。

     

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  • 产品介绍

    产品介绍

    根据您的应用,基板形式和产量要求,我们提供一系列批量式,集群式和连续式平台架构。配备蒸镀,溅镀,刻蚀和PECVD源科技。我们有超过50多年的工艺和专业生产技术。选择一个机型来了解其硬件和工艺能力。

    想了解更多?我们很乐意为您提供产品的最新信息

     

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    BAK系列

    有50年工艺知识,蒸镀距离从0.5至2.0米的蒸镀机

    BAK系列

    目前全球已安装超过2,000台BAK机台,我们将带您了解为何BAK能成为跨半导体,光电和光学的业界标准蒸镀机。

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    CLUSTERLINE® 系列

    Cluster系列机台,最大可处理650mm 的晶圆或面板

    CLUSTERLINE® 系列

    CLUSTERLINE® 系列有最大可处理尺寸为650mm 晶圆或面板的设备机台,在所有Evatec核心市场中,以最安全的传送和最先进的工艺赢得市场的盛誉。

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    HEXAGON

    先进封装中晶圆级工艺的优势

    HEXAGON

    可以达到每小时50片的12寸或8寸有机钝化晶圆生产速度,且不会造成下游污染。HEXAGON是让您在UBM,RDL,TSV和Fanout工艺中保持领先的生产设备。

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    LLS EVO II

    金属,介质和磁性薄膜用立式溅射机台

    LLS EVO II

    紧凑的设计和灵活性使立式批量溅射机台非常适用于金属,介质层和磁性薄膜,性价比极高,基板尺寸高达200x230mm。

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    MSP1232

    基板传输自动化和翻面 (可选)

    MSP1232

    从抬头显示 (HUD) 到卫星通讯,新MSP 1232机台专用于精密光学溅射镀膜的大规模生产,适用于平面或3D曲面的玻璃,塑料或金属等基材。

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    SOLARIS® 系列

    超高产能全自动连续型生产解决方案

    SOLARIS® 系列

    SOLARIS® 系列是专为全自动化工厂生产设计而生。最大基片尺寸可达8英寸 (SOLARIS® S151机台) 或15英(SOLARIS® S380机台)。应用领域涵盖了从触摸屏面板到电磁屏蔽,功率器件到光伏电池。

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  • 客户服务

    客户服务

    从最初的安装计划开始,我们的全球客户服务团队就将在机台的整个周期内为您提供帮助。了解我们可以提供的服务。

    想了解更多?我们很乐意为您提供关于我们公司和服务解决方案的最新消息。

     

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    概览

    Evatec客户服务 - 快速浏览我们能提供的一切

    概览

    详细了解服务组合,充分利用Evatec 机台。

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    备品备件

    快速高效 - 提供建议找出您需要的备件并安排快速交付。

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    支持解决方案

    ”现场"或"远程支持" - 由您选择

    支持解决方案

    除了解决紧急的机台停机外,还有许多其他方法可以帮助您最大程度地利用Evatec 生产设备。

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    改造和升级

    延长Evatec 的机台的使用寿命

    改造和升级

    解决老龄备件停产的问题及通过新增硬件和工艺功能加强Evatec 机台的利用率,了解我们如何为您提供帮助。

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    技术培训

    来我们瑞士总部,或让我们的培训师来拜访您,或使用最新的远程技术。我们合格的培训师随时准备为您提供帮助。

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1st 十二月 2020
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开启下一代FOPLP
开启下一代FOPLP

Fraunhofer IZM实验室与Evatec 合作开发下一代 FOPLP和 IC - 基板处理技术。

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3rd 九月 2020
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SMART Center - "快速跟踪"压电
SMART Center - "快速跟踪"压电

The Northeastern University SMART中心新增一台Evatec CLUSTERLINE® 200以期提高其纳米加工能力。

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20th 八月 2020
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Evatec 赢得Prix SVC Ostschweiz大奖
Evatec 赢得Prix SVC Ostschweiz大奖

Evatec 是Prix SVC Ostschweiz大奖的获得者

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30th 六月 2020
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SilTerra 选择 Evatec
SilTerra 选择 Evatec

SilTerra配置了Evatec 的CLUSTERLINE® 200,以制造高性能的压电MEMS器件。

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26th 六月 2020
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Evatec 获得SJ Semi奖项
Evatec 获得SJ Semi奖项

Evatec 先进封装事业部获颁中芯长电半导体有限公司SJ Semi优秀供应商奖。

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19th 三月 2020
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PLC2.0启动
PLC2.0启动

50多位国际嘉宾聚集在Fraunhofer IZM,以启动PLC2.0。PLC2.0是由Evatec 和其他16家公司组成的联盟,致力于达到扇出型面板级封装FOPLP的更高水平。

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19th 十二月 2019
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Prix SVC 决赛
Prix SVC 决赛

Evatec 是Prix SVC (瑞士风投俱乐部) 企业家奖的六名决赛选手之一。

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16th 十月 2019
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Evatec & Disco Hi-Tec
Evatec & Disco Hi-Tec

Evatec 和Disco Hi-Tec宣布合作伙伴关系,共同开发Evatec CLUSTERLINE® 300 II机台的工艺。

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29th 八月 2019
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SkyWater 选择Evatec
SkyWater 选择Evatec

SkyWater选择了配备高性能蒸发技术的CLUSTERLINE® 300用于新工艺开发。

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