10th 六月 2020

LAYERS 5 - 低损伤CMOS

硅基光电子(SiP)是光子取代电子作为信息载体的媒介,是20世纪两项最重要的发明的组合,即硅集成电路(IC)和半导体激光器。Evatec 的工艺工程师Andreas Frigg解释说,在CLUSTERLINE® 200上进行反应溅射是一种有前途的新工艺,该工艺可用于具有成本效益的SiN沉积,用于波导等应用,可实现数据中心的快速增长。

阅读原文请点击此处

文章仅提供英文版本