17th 六月 2026
Silicon Austria Labs 与 Evatec 达成合作
Silicon Austria Labs（SAL）在其菲拉赫工厂安装了第二台 Evatec CLUSTERLINE® 200 镀膜集群设备，从而进一步扩展了其先进镀膜加工能力。新设备的引入得益于欧洲联合资助，重点聚焦于开发领先的新型工业化沉积工艺及薄膜特性，以满足无线通信、功率器件和 MEMS 等新兴应用对高性能金属薄膜和氮化物薄膜的关键需求。
新系统具备先进的刻蚀、溅射和高温处理能力，并集成了 Evatec 定制的 HiPIMS 源技术。这使得 SAL 能够深入研究高能量等离子体工艺及其对薄膜密度、应力控制和均匀性等关键特性的影响。
Evatec Europe 董事总经理 Ralf Eichert 表示： “SAL 的菲拉赫工厂已是 MEMS 和先进封装等领域公认的领先研究中心。新设备所提供的工艺能力，与其现有配备单源和多源溅射技术及低温 PEALD 能力的 CLUSTERLINE® 200 形成完美互补，使 SAL 成为工业界理想的开发合作伙伴。”
SAL 高级执行总监 Mohssen Moridi 确认，该项投资进一步强化了 SAL 作为欧洲先进材料与微系统技术创新中心的地位。Evatec 与 SAL 之间的紧密合作，随着双方近期签署联合谅解备忘录而得到进一步深化。Evatec 的 CLUSTERLINE® 平台为开发下一代薄膜工艺提供了强大基础，并有助于支持工业伙伴加速技术开发与市场推广。”