Step 1:  必要なシステム容量を確認する

基板のサイズと標準的な処理に適したバッチサイズに応じて、基本的なプラットフォームサイズを選択することから始めます。 さまざまなシステムのバッチサイズチャートを表示するには、ここをClickしてください。

Step 2: ソース、アクセサリ、プロセス制御テクノロジーを選択する

ソースとプロセスアクセサリのポートフォリオを簡単に確認するには、ここをClickしてください　-　エフュージョンセルやデジタルビームスイープ電子ビームガンから、PIAD用のチャンバー加熱およびプラズマソースまで。

クォーツや光学モニタリングを含むエバテックの先端プロセス制御技術の詳細については、ここをClickクリックしてください。

Step 3:プロセスとファブのインテグレーション要求に従ってBAKをカスタマイズする

 さらにカスタムオプションを調べて、あなたに適切なBAKを構築してください。

• 　　側壁への成膜をゼロにする拡張ロングスローを備えた「リフトオフ」プラットフォーム
• 　　敏感な原料とバッチサイクルタイムの短縮のための「スプリットチャンバー」プラットフォーム
• 　　シングルウェーハ搬送、アシストドームロードまたはフルロボットロード、またはドームおよびフロントエンドカセットから成膜チャンバーへの搬送を含む自動処理オプション

Step 4: エバテックのUnicalcソリューションのメリット

どの構成を選択しても、BAKファミリーの全装置に50年のプロセスノウハウが備わっています。 最小寸法でのシェイパー最適化のためのエバテックのUnicalcソリューションは、成膜速度を上げてスループットを高め、貴金属を使用する重要なプロセスの材料使用量を減らすのに最適な方法です。 Unicalcの詳細については、ここをClickしてください。

Step 5: BAKファミリーのパンフレットをダウンロードする

BAKファミリーの完全な概要を入手するには、パンフレットをダウンロードするか、エバテックのWebサイトのニュースにアクセスしてください。

すでにBAKを手に入れましたか？

新しいプロセス機能または最新の制御システムで既存のBAKの寿命を延ばしたいですか？レトロフィットのパンフレットをダウンロードするには、ここをClickしてください。