MULTI BAKの新しい世界へようこそ
Evatecは2022年にMulti BAKプラットフォームを発表し、大量生産向け薄膜プロセスの新たな標準を確立しました。
実績ある自動ウェーハ搬送技術およびロードロック技術を基盤に、Multi BAKは大気側ロボットハンドラを中心として複数のBAKプロセスチャンバーをクラスタ構成で統合しています。
この先進的なシステム設計により、プロセス再現性の向上、安定した生産環境の実現、および大幅な生産性向上を達成し、高度な量産環境に最適なソリューションとなっています。
用途やプロセス要件に応じて、2種類の構成を選択できます。
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Multi BAKクラスタシステム
大気側フロントエンドモジュールとロボット搬送システムを統合したフルクラスタ構成です。1台のプラットフォームに最大4基のBAKプロセスチャンバーを搭載でき、拡張性、生産性、およびプロセス一貫性を最大化するよう設計されています。 -
BAK911 シングルチャンバーシステム
単一チャンバー構成を必要とする用途向けのコンパクトなソリューションです。ロードロック方式の基板搬送を採用することで、高いプロセス制御性と再現性を実現します。
両構成とも6インチおよび8インチウェーハ処理向けに最適化されており、高スループットと優れた膜厚均一性を実現します。
高い精度と生産効率が求められるワイヤレスデバイス、RFデバイス、およびオプトエレクトロニクス製造向けに設計されています。
Multi BAKプラットフォーム概要
各セクションをクリックすると概要をご覧いただけます。詳細はページ下部をご参照ください。
Multi BAKの主な特長
Multi BAKを選ぶ理由：
- カセットまたはSMIFロードポートに対応し、フロントエンドからプロセスチャンバーまでの完全自動搬送によって手作業を排除。
- EFEMの周囲に最大4基のBAKモジュールを構成可能。
- 従来の前面手動投入システムと比較してバッチ処理時間を大幅に短縮。
- 各ウェーハの搬送履歴を完全管理し、元のカセット位置へ自動返却。
- 各ウェーハを個別ロケーション、セグメント、またはプロセスバッチ単位で追跡でき、さらなる自動化を実現。
FEM BAK911
フロントエンドモジュール（FEM）
オペレーターが容易にセグメントを投入できる人間工学設計のフロントエンドモジュールです。その後、ロードロック転送モジュールを介して自動搬送されます。
BAK911の主な特長
BAK911を選ぶ理由：
- 人間工学設計のフロントエンド投入モジュールを備えたシングルチャンバー構成。
- ロードロック経由でのセグメント搬送により、バッチ処理時間を短縮し、生産能力を向上。
- ソースチャンバーを真空状態に維持し、高いプロセス再現性を確保。
- 生産量の増加に応じて、将来的にフルMulti BAK構成へ拡張可能。
FEM Multi BAK
フロントエンドモジュール（FEM）
Multi BAK用大気側フロントエンドモジュールは、完全自動搬送を実現します。
- カセットまたはSMIFポートに対応。
- ロードロック搬送前にウェーハをセグメントへ自動投入する大気側ロボット。
- ウェーハアライナおよびバッファモジュール統合に対応。
- ウェーハIDリーダ統合オプションを用意。
ロードロック搬送
共通モジュール
EvatecのLTM（Load Lock Transfer Module）技術は、BAK911およびMulti BAKの双方でロードロックとプロセスチャンバー間の効率的なセグメント搬送を実現します。
- 処理時間を短縮。
- 生産時のエネルギー消費を削減。
プロセスチャンバー
BAK911／Multi BAK共通
バッチ間でもプロセスチャンバーを真空状態に維持します。
- ベース圧力を低減。
- 高いプロセス再現性を実現。
Sources
Sources and process
control for BAK 911 and Multi BAK
蒸着源およびプロセス制御
実績あるEvatec電子ビームガン技術により以下を実現します。
- マルチポケット電子ビームガン技術。
- ワイヤフィーダ技術による長時間連続運転。
- 石英振動子交換周期を延長する膜厚制御技術。
Multi BAK ― 次世代への飛躍
1. 6インチおよび8インチプロセスにおいて、大幅なスループット向上を実現します。
従来型BAKとBAK911またはMulti BAKとのバッチ処理能力（バッチ/時間）比較をご確認ください。
Watch the video now – the Multi BAK
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2. サステナビリティも大きく前進
Multi BAKは、システムコンセプト、ハードウェア構成、および排気システム設計により、エネルギー消費削減にも大きく貢献します。
従来の単独型装置と比較して最大60％のエネルギー削減を実現する方法については、当社スペシャリストにお問い合わせください。
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