SOLARISファミリー
インライン式生産プラットフォーム
民生用電子機器を含む超大量生産アプリケーションをリード
完全自動化工場
- 高速搬送を実現する独自の「インデックス」システム
- 基板およびアプリケーションに応じた柔軟なツーリングシステム
プラットフォームサイズの選択肢
- S151：対角8インチまで
- S380：対角15インチまで
高速化をリード
- 実績あるEvatecのハンドリング・ノウハウ
- 実績あるプロセス・ノウハウ：金属、誘電体、透明導電性酸化物(TCO)
SOLARIS® ファミリー
SOLARIS®スパッタプラットフォームは、5,000台を超える高速光ディスクシステムの納入で培ったノウハウと、3,000台を超える半導体PVD装置から得た経験を融合し、薄膜量産に新しいアプローチを提供します。「インライン」アーキテクチャを採用したSOLARIS®プラットフォームは「完全自動化工場」向けに設計され、スループットを向上させるとともに手作業によるハンドリングを不要にします。
高速処理と高スループットが不可欠な場合、SOLARIS®プラットフォームは誘電体、金属、金属酸化物、TCOの成膜に最適です。スマートデバイス向けの多層装飾膜・硬質膜からパワーデバイスのメタライゼーションまで、フォトニクス、オプトエレクトロニクス、半導体分野に柔軟な高速製造ソリューションを提供します。
Evatecのエンジニアリング・ノウハウを活用し、SOLARIS®プラットフォームには独自のカソード技術および基板ハンドリング技術を搭載することも可能です。これにより、3D構造や段差構造へのコーティングに対応します。
プラットフォームは2つのサイズから選択できます：
- S151：対角8インチまでの基板に対応
- S380：対角15インチまでの基板に対応
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SOLARIS® S151
SOLARIS® S151を選ぶ理由：
- 独自の「同期インデクサー」技術により、SOLARIS®内でキャリアを並列搬送し、高速処理を実現
- RTP、PVD、エッチング、CVD用として最大6つのプロセスステーションを構成可能
- 対角8インチまでの基板、またはキャリアを用いた「ミニバッチ」処理に対応
- リジッド基板およびフレキシブル基板に対応
- 「完全自動化工場」のフロントエンドに統合可能
SOLARIS® S380
SOLARIS® S380を選ぶ理由：
- 独自の「同期インデクサー」技術により、SOLARIS内でキャリアを並列搬送し、高速処理を実現
- RTP、PVD、エッチング、CVD用として最大5つのプロセスステーションを構成可能
- 対角15インチまでの基板、またはキャリアを用いた「ミニバッチ」処理に対応
- リジッド基板およびフレキシブル基板に対応
- 「完全自動化工場」のフロントエンドに統合可能
LAYERS誌でSOLARIS®ファミリーの詳細をご覧ください
SOLARIS®：厚膜アルミニウム層のスループット向上
EvatecのSOLARIS®プラットフォームは、最大18 µmの厚膜Alに対して高速なカセット・ツー・カセット処理を実現します。パワーデバイス用途で均一性と信頼性を確保しながら、最大毎時60枚のウエハーというスループット向上を達成します。
必要なのは、強靭なハードコーティング
今日のスマートデバイスは、かつてないほど多くの機能を備える一方、より高い堅牢性も求められています。ポケットの中で衝撃を受けたり、砂の上に置かれたりするデバイスを保護する、新しいハードコーティングソリューションをご紹介します。
カスタマーサービス
Evatec製装置の導入は、長期的なパートナーシップの第一歩にすぎません。立ち上げ支援から継続的な保守サービス、機能追加のためのレトロフィットまで、各地域のカスタマーサービスチームがお客様とともに装置稼働率および装置寿命の最大化を支援します。
スペアパーツ
- スペアパーツ在庫の計画および管理をサポートします。
- 交換プログラムによりダウンタイムを最小限に抑えます。
サポート
- 必要なときに迅速対応できるフィールドサービスエンジニアが待機しています。
- 継続的改善プログラム（CIP）から新規プロセス導入まで、生産性向上を支援します。
レトロフィット
- 技術ロードマップに対応する新機能を追加します。
- 装置寿命の延長を支援します。
トレーニング
- お客様自身による運用能力向上を支援します。
- Evatec施設またはお客様工場にて、お客様専用にカスタマイズされたトレーニングを提供します。