ウエハーレベルオプティクス（WLO）
光学系の小型化、効率の最大化
高収率のWLO製造に不可欠な安全なウェーハハンドリングと低パーティクルレベルを実現
拡張現実 (AR)
- 回折型または反射型導波路技術をサポート
- 金属、AR、ビームスプリッターコーティング
センシング＆イメージング
- 顔認証や指紋認証を含む、幅広い「生体認証センシング」技術に対応したプロセスソリューション
- 高性能近赤外線（NIR）バンドパスフィルター
フォトニック集積回路 (PIC)
- EEL向けARおよびHRプロセスソリューション
- ALNおよびSiNを含む光導波路プロセス
高収率メタレンズ
- アモルファスSiおよび金属酸化物
- 200mmまたは300mmでパーティクルレベルを最低限に抑えたソリューション
WLO業界をリードします
車載用アプリケーションからスマートグラス、モバイル機器、フォトニック集積回路（PIC）まで、アドバンスド・プロセス・コントロール技術を搭載したエバテックの蒸着・スパッタプラットフォームは、大量生産において最高の所有コストを実現します。
バイオメトリックセンシング、拡張現実の領域において、当社の生産プラットフォームはフィルター、AR、DBR、高反射コーティングの成膜を可能にします。エバテックのプロセスは、センサー、カメラ、スマートデバイスの性能を向上させます。
高度なプロセス制御
エバテックの生産プラットフォームは、精度と歩留まりを向上させるために、さまざまなクローズドループプロセス制御技術を統合しています。
- check 広帯域光モニタリングによる基板直接測定とIn situ再最適化により、蒸着またはスパッタ蒸着中にリアルタイムでレシピを調整。
- check プラズマ・エミッション・モニタリングによる完璧な化学量論制御とスパッタ成膜速度の向上。
ここをクリックして光学モニタリングのパンフレットをダウンロードし、In situ再最適化、ハイブリッド・モード・モニタリング（広帯域および単色）についての詳細や、光学薄膜製造を最適化する方法を示すその他のケーススタディをお読みください。
ウェハーレベル光学部品
ウェハーレベルの光学部品アプリケーションにおいて、プロセスの再現性と低パーティクルレベルを確保することは、高歩留まり生産に不可欠です。完全に自動化されたカセット・ツー・カセット生産技術により、手作業は一切不要です。
自動車から航空電子工学、スマートグラスの消費者向けアプリケーションまで、私たちはさまざまな拡張現実/複合現実（AR/MR）アプリケーションで必要とされる薄膜の成膜をサポートしています。
高屈折率ガラスへの広い入射角範囲に対応した反射防止コーティング、インカップリングまたはアウトカップリンググレーティング、エバテックは大量生産のための専用完全自動化ソリューションを提供します。
AR/VRからバイオメトリック・センシング、EELまで、WLOの典型的なアプリケーションや、エバテックのソリューションがどのようにお客様をサポートしているかについては、下記のLAYERS誌をご覧ください。
量産向け装置
ウェハレベル光学部品用エバテックツールポートフォリオ
バッチ式、クラスター式、全自動インライン式など、さまざまなプラットフォームで蒸着・スパッタリング技術を提供しています。
当社のエキスパートが、お客様のプロセス要件、処理能力、工場統合のニーズに応じて、適切なプラットフォームを見つけるお手伝いをいたします。また、各プラットフォームの詳細については、写真のリンクをクリックしてください。
BAKファミリー
0.5メートルから1.4メートルの蒸発器は、独自のe-ガン技術によりPIADプロセスを強化し、材料、基板サイズ、形状、曲率の迅速な変更に柔軟に対応します。
CLUSTERLINE®200 BPM
CLUSTERLINE®ファミリーの一員であるBPMは、カセットツーカセット方式のダイナミックバッチスパッタツールで、MEMS、ワイヤレス、オプトエレクトロニクス、フォトニクスなどのアプリケーションにおいて高いスループットと精度を実現します。大量生産アプリケーションにおいて、最高の均一性と最小のパーティクルレベルを実現するには、BPMをお選びください。
CLUSTERLINE®200
エッチング、PVD、PECVD、PEALD用の単一プロセスモジュールを搭載した、カセットツーカセット方式の 8 インチ クラスターは、半導体業界のハンドリングおよびトラッキング基準に準拠しています。高精度な単一基板ハンドリングを実現します。
CLUSTERLINE®300
カセットツーカセット方式の 12 インチ クラスターは、ウェーハ レベルの光学系などのアプリケーションでの精度を実現する単一プロセス モジュール内での単一ウェーハ処理に関する半導体業界の処理および追跡標準に準拠しています。
SOLARIS®
スマートグラス用ARコーティングの生産において最高のスループットを実現するインラインプラットフォーム製品群。
ウエハーレベルオプティクスについての詳細はLAYERSをご覧ください。
側壁被覆
マイクロLEDアプリケーションにおける薄膜プロセスにおいて、側壁被覆がなぜ重要なのか、そしてEvatecのCLUSTERLINE®ソリューションがどのようにこれらのニーズを満たすのかをご覧ください。
新しい視点で世界を見る
Evatecは、量産市場向けに求められる200mmまたは300mmの様々なスマートグラス技術と、コスト効率の高い薄膜コーティングソリューションをご紹介します。
スマートフォンはどのように私を認識しているのでしょうか？
指紋認証と顔認証は、モバイルデバイスのセキュリティを確保します。Evatecのツールは、これらのアプリケーションを世界中でサポートしています。生体認証と光学コーティングについて詳しくは、