奥地利SAL实验室通过新型等离子体增强原子层沉积（PEALD）模块提升薄膜技术

奥地利SAL实验室已与Evatec公司合作，在其位于菲拉赫的工厂的Evatec CLUSTERLINE® 200 设备上安装了一个新型等离子体增强原子层沉积（PEALD）工艺腔。此次合作提升了奥地利SAL实验室的薄膜沉积技术能力，使其能够进行先进的低温工艺，并能更好地处理对损伤敏感的材料。了解更多详情，请浏览阅新闻稿。