LAYERS 9 – 压电MEMS的崛起

压电MEMS（PiezoMEMS）正进入一个新的增长阶段。根据Yole Group的数据，在音频、传感、电信以及AI/HPC基础设施需求不断增长的推动下，该市场在2024年达到了40亿美元，预计到2030年将增长至57亿美元。

诸如PZT、AlN和掺钪AlN等压电薄膜材料，如今的应用已远远超出其在射频滤波器中的传统角色，为各种器件类型带来了创新。

MEMS微扬声器的新动能

增长最快的应用领域之一是MEMS微扬声器，其在2024年销量约为200万个，预计到2030年复合年增长率将接近80%。与传统的电动式和平衡电枢技术相比，这些微扬声器具有显著优势——尤其是在可穿戴设备、TWS耳机、AR眼镜和智能手表领域——这得益于其更低的功耗、更高的可靠性以及强大的装配选项。

领先厂商如xMEMS和USound目前主导市场，合计占据了93%的出货量。两者都依赖使用物理气相沉积或溶胶-凝胶方法沉积的PZT薄膜层进行驱动。

为了克服实现全频段音频性能的挑战，公司正在探索调制超声波架构，这为音频带宽提供了有前景的改进。

跨行业拓展机遇

除了音频，压电MEMS技术正在多个高增长市场推动创新：

• 电信：新兴的6G和未来的Wi-Fi世代将需要新的滤波器技术，如XBAR和XBAW，两者都基于压电效应
• AI与数据基础设施：应用包括高精度计时解决方案、用于降低能耗的基于微镜的光开关，以及用于高性能计算的微冷却设备。
• 消费与工业传感：机遇涵盖超声波指纹传感器、喷墨打印头、自动对焦微镜、定时振荡器和可穿戴传感器。

这种快速的多样化发展得到了不断扩大的MEMS代工生态系统的支持，这些代工厂正在扩展其压电薄膜能力。他们正在投资于更高的沉积质量、更大的产能以及新的材料选择，包括满足未来法规和市场需求的无铅替代品。

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