LAYERS 9 – 光学监控新突破：近红外扩展至1700 nm

Evatec的GSM宽光谱光学监控系统已在高精度光学薄膜沉积领域服务超过十年。随着全新GSM 1102系统的推出，并搭载近红外扩展模块，用户现在可享380至1700 nm的扩展监控波长范围，显著提升近红外光谱区域的监控能力。

新一代GSM在保持前代灵活性的同时，集成了多项硬件升级，包括配备InGaAs探测器的第二台光谱仪、专用分光硬件，以及升级后的软硬件系统，实现快速、无缝的数据采集。用户仍可选择宽带、单色或混合监控模式，并可在沉积过程中进行动态优化。

该系统支持Evatec多款平台，如BAK蒸发系统、CLUSTERLINE® 200 BPM、CLUSTERLINE® 200 PECVD及SOLARIS®，并可选择直接在基片上监控或使用专用测试玻璃。

在CLUSTERLINE® 200 BPM上进行的案例研究充分展示了扩展波长范围的优势。在溅射沉积过程中，GSM在转台每转一圈时即可测量380至1700 nm的全反射光谱，提供稳定、无噪声的数据，与仿真光谱高度吻合。

扩展的近红外监控能力可对用于近红外波段的各种光学元件的薄膜生长进行精确、实时的控制。通过捕捉更宽波长范围内的完整光谱，GSM 1102显著提升了生产中的工艺可靠性、均匀性和可重复性。

重要的是，近红外扩展模块不仅适用于新设备，还可作为现有GSM 1102系统的改装套件，使用户无需更换设备即可升级监控能力。

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