Evatec CLUSTERLINE® 200 & PEALD

您是否希望开发将 PEALD 与其他蚀刻和沉积技术相结合的新工艺流程？... 那么请查看 CLUSTERLINE® 200 和 Evatec PEALD的 强大组合！CLUSTERLINE® 200 以其在蚀刻、PVD 和 PECVD 方面的灵活性而闻名，可以配备高性能 PEALD 技术。覆型性、精确的厚度控制和可重复性是基本特征，另外高密度微波等离子体可以带来进一步优势，包括较低的工艺温度或处理对损伤敏感的基板。

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