LED技術は、将来の電気自動車(EV)用途において、従来の照明機能を超えた重要な役割を果たしつつあります。車内外の装飾照明から、透明ディスプレイやマイクロディスプレイに至るまで、LEDおよびMicro LEDは新たなデザインコンセプトと高度な機能性を車両全体にもたらしています。
Evatecでは、デバイス構造がより小型化・複雑化していくMicro LEDロードマップに沿って、継続的なプロセス開発を進めています。重点は、高量産環境においてデバイス性能を向上させると同時に、CoO(Cost of Ownership)を低減することにあります。プロセス最適化により、パーティクル低減、歩留まり向上、そして次世代LEDデバイスに必要な薄膜積層構造への対応を実現しています。
Evatecは、ITOをはじめとする透明導電膜(TCO)分野において20年以上の経験を有しており、ホットプロセスおよびコールドプロセスの両方に対応しています。独自のTCOプロセスや分布ブラッグ反射鏡(DBR)プロセスは、さらなる微細化に対応しながら光出力を向上させるよう設計されています。同時に、高均一な金属成膜プロセスにより、4インチ、6インチ、8インチ基板上で信頼性の高い電極形成を可能にしています。
さらに、敏感な構造を保護しデバイス寿命を向上させるパッシベーション膜形成技術も有しています。ハイブリッドDBRコンセプトや最適化されたプロセスフローにより、サイクルタイム短縮と量産時の高スループット化も実現しています。
Evatecは、幅広い材料技術とプロセスノウハウを活用し、自動車用途をはじめとする先進LEDおよびMicro LED技術の開発・量産拡大を支援しています。そして、急速に進化するEV市場の未来に貢献しています。
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