LAYERS 9 – 光学モニタリング
EvatecのGSM広帯域光学モニタリングシステムは、10年以上にわたり高精度な光学薄膜成膜を支えてきました。新たにNIR（近赤外）拡張機能を搭載したGSM 1102の登場により、モニタリング波長範囲は380〜1700nmへ拡張され、近赤外領域における性能が大幅に向上しました。
最新世代のGSMは、従来機の柔軟性を維持しながら、大幅なハードウェア強化を実現しています。これには、InGaAs検出器を搭載した第2分光器、専用光分岐ハードウェア、高速かつシームレスなデータ取得を可能にする改良型ファームウェアおよびハードウェアが含まれます。ユーザーは、広帯域、単色、ハイブリッド各モニタリングモードを継続して選択でき、成膜中の動的チューニングに対応するin process再最適化機能も利用可能です。
本システムは、BAK蒸着装置、CLUSTERLINE® 200 BPM、CLUSTERLINE® 200 PECVD、SOLARIS®など複数のEvatecプラットフォームに対応しており、基板上直接モニタリングやテストガラスチェンジャー利用も可能です。
CLUSTERLINE® 200 BPM上で実施された事例では、拡張波長範囲の利点が示されています。スパッタ成膜中、GSMはターンテーブル回転ごとに380〜1700nm全反射スペクトルを測定し、シミュレーション結果と高い一致性を持つ安定かつノイズフリーなデータを取得しました。
拡張されたNIR領域対応により、近赤外用途向け光学部品に対する薄膜成長の高精度リアルタイム制御が可能となります。広範囲波長にわたる完全スペクトル取得により、GSM 1102は量産におけるプロセス信頼性、均一性、再現性を大幅に向上させます。
重要なのは、このNIR拡張機能が新規装置だけでなく、既存GSM 1102システム向けレトロフィットパッケージとしても提供される点です。これにより、ユーザーは装置更新なしにモニタリング性能を向上できます。
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