Evatec CLUSTERLINE® 200 と PEALD

PEALD と他のエッチングおよび堆積技術とを統合した新しいプロセス フローの開発をお考えですか? … それなら、CLUSTERLINE® 200 と Evatec PEALD のパートナーシップをご覧ください。エッチング、PVD、PECVD における柔軟性ですでに知られている CLUSTERLINE® 200 には、高性能 PEALD 技術を搭載できます。適合性、正確な厚さ制御、再現性は標準装備ですが、高密度マイクロ波プラズマがもたらす利点 (プロセス温度の低下や損傷に敏感な基板の処理など) も備わっています。

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