LAYERS 9 – PiezoMEMSの台頭
圧電MEMS（PiezoMEMS）は新たな成長フェーズに入っています。Yole Groupによると、市場規模は2024年に40億ドルへ達し、2030年には57億ドルへ成長すると予測されています。成長を牽引しているのは、オーディオ、センシング、通信、AI/HPCインフラ分野での需要拡大です。
PZT、AlN、Sc添加AlNなどの薄膜圧電材料は、従来のRFフィルタ用途を超え、幅広いデバイス分野で新たなイノベーションを可能にしています。
MEMSマイクロスピーカー市場の急成長
最も急成長している用途の一つがMEMSマイクロスピーカーです。2024年には約200万台が販売され、2030年まで年平均成長率（CAGR）約80%で拡大すると予測されています。
これらのマイクロスピーカーは、低消費電力、高信頼性、優れた実装性により、従来の電磁型やバランスドアーマチュア方式に対して大きな優位性を持っています。特にウェアラブル機器、TWSイヤホン、ARグラス、スマートウォッチで期待されています。
現在、市場はxMEMSとUSoundが主導しており、両社で出荷量の93%を占めています。いずれもPZT薄膜をアクチュエータとして使用しており、PVDまたはゾルゲル法によって成膜されています。
フルレンジ音響性能の実現という課題に対しては、変調超音波アーキテクチャが検討されており、オーディオ帯域幅向上への有望なアプローチとして注目されています。
各分野への広がる応用
オーディオ以外にも、PiezoMEMS技術は複数の成長市場でイノベーションを支えています。
- 通信分野：6Gや次世代Wi-Fiでは、圧電効果を利用したXBARやXBAWなど新しいフィルタ技術が必要となります。
- AI・データインフラ：高精度タイミングデバイス、省エネ型マイクロミラー光スイッチ、高性能コンピューティング向けマイクロ冷却デバイスなどへの応用が進んでいます。
- 民生・産業センシング：超音波指紋センサー、インクジェットヘッド、オートフォーカスマイクロミラー、タイミング発振器、ウェアラブルセンサーなど多岐にわたります。
この急速な用途拡大を支えているのが、薄膜圧電技術を強化するMEMSファウンドリーの拡大です。各社は成膜品質向上、生産能力増強、さらには将来規制対応を見据えた鉛フリー材料への対応を進めています。
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