シリコンオーストリアラボ、新しいPEALDモジュールで薄膜技術を強化

Silicon Austria Labs (SAL) は Evatec と提携し、同社のフィラッハ施設の Evatec CLUSTERLINE® 200 ツールに新しい PEALD (プラズマ強化原子層堆積) モジュールを設置しました。このコラボレーションにより、SAL の薄膜技術機能が強化され、高度な低温処理と損傷に敏感な材料の取り扱いの改善が可能になります。詳細については、プレス リリース (リンク) を参照してください。