先端のプロセス制御

Evatecの生産プラットフォームは、精度と歩留まりを向上させるために、さまざまなクローズドループプロセス制御技術を搭載できます。

• In-Situ再最適化を備えたブロードバンドおよびハイブリッド光学モニタリングは、真空蒸着またはスパッタリング成膜中のリアルタイムレシピ調整を可能とします。
• プラズマ発光モニタリングは、完全な化学量論制御とスパッタリングのスループット向上をもたらします。
• 光学高温計は、真空蒸着およびスパッタリングプロセスにおける温度制御とプロセスの安定性を強化します。
• ”Optic Tool Box”は、薄膜の設計からレシピの生成、コーティングの実行まで、スムーズな統合を保証します。 プロセス開発時間を短縮し、スループットを向上させます。

ここをクリックして、光学モニタリングに関するパンフレットをダウンロードし、In-situ再最適化、ハイブリッドモードモニタリング（ブロードバンドおよび単色）の詳細を確認し、光学薄膜の製造を最適化する方法を示す他のケーススタディをお読みください。

ウェーハレベルのオプティクス

ウェーハレベルの光学アプリケーションで高歩留まりの生産に不可欠なプロセスの再現性と低パーティクルレベルを確保するには、すべての手動処理を排除した完全に自動化されたカセットtoカセット生産技術が必要です。ウェーハレベルオプティクスのパンフレットのCLUSTERLINE200 BPMで、エバテックがサポートする生体認証や構造化フィルターコーティングなどの一般的なアプリケーションの詳細をご覧ください。

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スマートグラス

自動車からアビオニクス、スマートデバイス等の民生用アプリケーションまで、さまざまな拡張現実/複合現実（AR / MR）アプリケーションで必要とされる薄膜の形成をサポートします。ウェーブガイド、ビームスプリッター、TCO、DBR、反射防止コーティングなどに要求される一般的なレーヤーは、アプリケーション、基板サイズ、スループットに応じて、さまざまなエバテックプラットフォームにて形成できます。 エバテックのプロセスのノウハウは、効率の良いハンドリングとポリマー基板上に堆積されたコーティングの保護もサポートします

精密なオプティクス

ブロードバンド光学モニタリングを含むエバテックの高度なプロセス制御技術は、UV、VIS、およびIRの幅広いアプリケーションの真空蒸着またはスパッタリングプロセスをサポートします。 エバテックのさまざまなBAKプラットフォームでの真空蒸着は、多様な2.5および3D基板形状に対応する柔軟な生産ソリューションを提供します。 CLUSTERLINE 200 BPMプラットフォームは、カセットからカセットへのスパッタリングソリューションを提供し、カスタムカソードテクノロジーを使用して、精度を高め、パーティクルを低減します。柔軟性の高いMSPにより、エバテックの大量生産ポートフォリオが完成します。エッジエミッションレーザー（EELS）から光ファイバーまで、当社のアプリケーションチームは、精密光学コーティングアプリケーションをサポートするために70年以上の基板ハンドリングやプロセスノウハウにアクセスできます。

機能性コーティング

日常の使用で色を変えたり保護したりするコーティングを通じて光学およびオプトエレクトロニクスデバイスを強化するには、適切な単位コストでボリュームとプロセスの再現性を提供する成膜ソリューションが必要です。 SOLARISのようなインラインソリューションは、必要な色、汚れ防止、引っかき傷防止コーティングを提供します。

エバテックのプロセス機能は、医療アプリケーションでの高性能デジタルX線検出器用のCsI / TlIベースのシンチレータの製造など、他のアプリケーションもサポートします。カスタムソーステクノロジーを備えたエバテックの大面積BAK1401およびBAV2000の真空蒸着ソリューションは、デジタルX線検出器のシンチレータ製造に必要な膜に正確な化学量論と柱状層構造を提供します。