从汽车工业到智能手机,Evatec 蒸镀和溅射机台特有的先进工艺控制技术(APC)降低了精密光学镀膜大规模生产的成本。
无论是在3D成像和人脸识别还是增强现实领域,我们的生产机台可以用来镀滤光片,减反膜 (AR), 布拉格反射膜 (DBR) 及类金刚石膜 (DLC),抗指纹膜等高性能薄膜。从智能设备中的传感器、摄像头和触摸屏,到汽车抬头显示 (HUD) 的视屏,甚至手术室的照明优化,都有Evatec工艺提升器件性能的身影
Evatec 工艺还可应用在其他领域,比如医疗领域的高性能X光探测器中CsI/TlI闪烁晶体的生产。Evatec 蒸镀解决方案是用BAK1401 或BAV2000 大面积箱式腔体,提供客制化的蒸发源技术,能够实现数字X射线探测器中闪烁晶体生产所需的精确化学成分比和柱状薄膜结构。
应用于光学的EVATEC 机型
Evatec 提供基于蒸镀和溅镀两种技术的批量式,集群式或全自动连续性生产平台。
我们的专家将根据您的工艺要求,产能需求和工厂集成要求帮助您找到合适的机台。 或者单击照片链接以了解有关每个机台的更多信息。
CLUSTERLINE® 200
借鉴半导体工业的8英寸晶圆盒到晶圆盒 (Cassette-to-cassette) 上下片及传输技术和追踪标准,配备批量式溅镀工艺模组提供晶圆级的批量光学镀膜技术。
从汽车工业到智能手机,Evatec 蒸镀和溅射机台特有的先进工艺控制技术(APC)降低了精密光学镀膜大规模生产的成本。
无论是在3D成像和人脸识别还是增强现实领域,我们的生产机台可以用来镀滤光片,减反膜 (AR), 布拉格反射膜 (DBR) 及类金刚石膜 (DLC),抗指纹膜等高性能薄膜。从智能设备中的传感器、摄像头和触摸屏,到汽车抬头显示 (HUD) 的视屏,甚至手术室的照明优化,都有Evatec工艺提升器件性能的身影
Evatec 工艺还可应用在其他领域,比如医疗领域的高性能X光探测器中CsI/TlI闪烁晶体的生产。Evatec 蒸镀解决方案是用BAK1401 或BAV2000 大面积箱式腔体,提供客制化的蒸发源技术,能够实现数字X射线探测器中闪烁晶体生产所需的精确化学成分比和柱状薄膜结构。
应用于光学的EVATEC 机型
Evatec 提供基于蒸镀和溅镀两种技术的批量式,集群式或全自动连续性生产平台。
我们的专家将根据您的工艺要求,产能需求和工厂集成要求帮助您找到合适的机台。 或者单击照片链接以了解有关每个机台的更多信息。