从汽车工业到智能手机，Evatec 蒸镀和溅射机台特有的先进工艺控制技术（APC）降低了精密光学镀膜大规模生产的成本。

无论是在3D成像和人脸识别还是增强现实领域，我们的生产机台可以用来镀滤光片，减反膜 (AR), 布拉格反射膜 (DBR) 及类金刚石膜 (DLC)，抗指纹膜等高性能薄膜。从智能设备中的传感器、摄像头和触摸屏，到汽车抬头显示 (HUD) 的视屏，甚至手术室的照明优化，都有Evatec工艺提升器件性能的身影

Evatec 工艺还可应用在其他领域，比如医疗领域的高性能X光探测器中CsI/TlI闪烁晶体的生产。Evatec 蒸镀解决方案是用BAK1401 或BAV2000 大面积箱式腔体，提供客制化的蒸发源技术，能够实现数字X射线探测器中闪烁晶体生产所需的精确化学成分比和柱状薄膜结构。

先进工艺控制

Evatec 生产机台集成了一系列闭环工艺控制技术，提高了镀膜精确性和良率。

• 宽光谱监控 — 直接测量基片的光谱，在蒸镀或溅镀过程中原位再优化和调整镀膜时间。
• 电浆光谱分析监控 (PEM) — 在蒸镀或溅镀过程中，实现精确的化学成分比控制和更高的溅射镀率。

• 红外测温与控制技术 — 在蒸镀或溅镀过程中控制温度。
• Evatec 光学工具集 (Evatec Optics Tool Box) — 无缝集成薄膜设计、配方生成到镀膜执行等全过程，降低了工艺开发时间，提高产量。

点击此处下载光学镀膜的先进工艺技术APC手册。